中古 NANOMETRICS 8000XSE #293743932 を販売中

NANOMETRICS 8000XSEは、高精度ナノメートルスケールのイメージングと測定機能を提供するように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、インピクセルビニング、ビッグピクセルビニング、分割、スーパーサンプリング技術を利用して、これまでにないデータ精度を実現しています。高度な自動校正機能と使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、高速かつ正確な画像解析が可能です。このユニットは、光学モジュール、Zステージ、およびテレセントリックレンズを内蔵したスキャンヘッドで構成されています。光学モジュールは、用途に応じて数ナノメートルから数百ナノメートルまでの高分解能イメージングが可能です。スキャンヘッドは回転可能な軸と線形軸から構成され、イメージング、測定、制御の精度のサブミクロンレベルを提供します。さらに、Zステージは、ファイン機能の正確な認識と分析のためのプラットフォームを提供します。NANOMETRICS 8000 XSEは、多様な基板上のパターン構造の非接触測定を可能にします。微細な画像解像度を利用した欠陥測定を10nm以下まで可能にします。サーフェスプロファイラと統合すると、このツールは広い構造に関する詳細な表面情報を提供し、より良い信号対ノイズ比を提供することもできます。この資産は、複数のナノメートルスケールの検査および測定アプリケーションが可能です。パターン認識、光学検査、オーバーレイまたは登録、X線回折（XRD）または電子顕微鏡（EM）、およびその他の計測および検査タスクが含まれます。さらに、パターン機能の取得と解析を自動化し、効率的かつ費用対効果の高いナノスケール検査を可能にします。粒度測定や化学分析にも使用できます。8000XSEはまた、大面積のイメージングと測定を可能にします。この装置により、ユーザーは個々の機能の精度と解像度を犠牲にすることなく、ウェーハ全体を検査することができます。さらに、そのイメージングソフトウェアは、断面画像からの測定を含む3Dモデルの分析をサポートしており、パターンの詳細についてのより深い洞察を可能にします。さらに、このシステムからのデータは、コンピュータ支援設計（CAD）プログラムにインポートすることができます。全体として、8000 XSEは高度で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査ユニットであり、さまざまな検査、測定、分析機能を提供します。このマシンは、非接触ナノメートルスケールの検査と、高度な研究および産業用途に不可欠な効率的な自動解析機能を可能にします。