中古 NANOMETRICS 3000 #9079621 を販売中
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NANOMETRICS 3000は、半導体マスクやシリコンウェーハの欠陥や精度を検査するために設計された高精度マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムには、強力な光学系と0。25ミクロンのサイズの特徴を解決できるイメージングユニットが装備されています。3000はウェーハおよびマスクの表面の微細な特徴の形およびサイズおよび位置の欠陥そして不規則を検出でき、良質プロダクトを保障します。このマシンは、光学ヘッド、メインコントローラ、サンプルスキャナ、解析ソフトウェアの4つの主要コンポーネントで構成されています。光学ヘッドは、サンプルの画像をキャプチャするように設計されており、高解像度CCDカメラ、高精度ズーム光学、および高度な照明源で構成されています。メインコントローラはツール全体の操作を調整および制御し、サンプルスキャナはサンプルの表面全体を分析するために顕微鏡の頭を動かすように設計されています。最後に、分析ソフトウェアは、取得した画像を分析して、サンプルに存在する特徴のサイズ、形状、位置を測定する重要なタスクを実行します。また、NANOMETRICS 3000アセットは高度なオートフォーカス機能を備えており、検査対象の機能の大きさにかかわらず、光学モデルの焦点面が検査プロセス全体にわたって一定に保たれるように設計されています。この自己調整機能により、高精度を維持しながら複雑なサーフェスを検査するために必要な時間を大幅に短縮できます。精度と解像度を高めるために、3000は光干渉やその他の高度な計測技術と組み合わせて使用することができます。これにより、サンプル上の微細な特徴の立体形状を、これまでにない精度で測定することができます。NANOMETRICS 3000は、精度と再現性の両方で信頼性の高い信頼性と強力な検査ツールであり、生産スケールマスクおよびウェーハ検査での使用に最適です。高精度の光学系、高度な画像取得・解析機能、オートフォーカス機能により、品質管理を図るメーカーにとって理想的な機器となっています。
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