中古 MKS GLM-2000 #9073496 を販売中

MKS GLM-2000
ID: 9073496
Minority Carrier Lifetime Monitor Measurements: Gtau (lifetime) Photoconductance Rise (PCR) Photoconductance Decay (PCD) Sheet Resistance Gtau Lifetime Measurement Range: 0.2-15,000 microsecond (µsec) equivalence PCR and PCD Measurement Range: 5-15,000 µsec Sheet Resistance Range: 1 5-1000 Ohm o Within Specification Temperature: 18º - 28°C ambient Substrate Size: 2”, 3”, 4”, 6” diameter, 156 x 156 mm LED Light Source2: Near Infrared (940 nm) or Green (527 nm) Sensor Measurement Area: 940mm2, spatially averaged illumination Substrate Thickness: <1.1 mm (<2.0 mm with tray removed) Power: 110-240 VAC, 50/60 Hz.
MKS GLM-2000は、製造上の欠陥を検出するために設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。検査システムは、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、およびMEMSデバイスの自動欠陥検査を提供します。検査装置には、高解像度の光学機器、高度な照明技術、そして微妙な表面の不規則性さえも検出できる独自の観察ツールが搭載されています。GLM-2000は、誘電測定、臨界寸法検査、グローバルアライメント、設計規則/マスクルール検証など、幅広い検査アプリケーションをサポートするように設計されています。MKS GLM-2000には高度なビューテクノロジーが搭載されており、パターン内の不明瞭な機能に素早くアクセスしたり、高コントラストまたは解像度で欠陥を検出したりすることができます。GLM-2000で使用されるスキャン段は、高速移動と高精度な位置決めが可能で、正確で信頼性の高い欠陥検査が可能です。このモデルは、マルチフォーカス、3D-dipole、マルチアングル反射など、さまざまな検出技術を提供します。また、高度なエッジ検出、機能測定、画像比較のための強力な画像処理アルゴリズムも備えています。MKS GLM-2000は、1サイクルで最大10枚のマスクとウェーハを検査することができます。このシステムは高度に構成可能であり、幅広い製造プロセスのニーズに合わせて調整することができます。GLM-2000は大量生産であり、大量検査を必要とするメーカーの要件を満たすように設計されています。単位に機械が常に信頼でき、正確であることを保障する低い故障率があります。MKS GLM-2000はユーザーフレンドリーで効率的な検査ツールです。直感的なユーザーインターフェイスとグラフィカルユーザーインターフェイスにより、操作が簡単になります。検査資産は、CD-SEMI、 J-STD、 IEC-60950など、さまざまな業界標準に準拠しています。このモデルは、製造、イメージング、計測など、さまざまな業界で効率的で信頼性の高い欠陥検出を提供するように設計されています。GLM-2000は費用効果が大きい点検装置で、無敵の正確さおよびスループットを提供します。
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