中古 MICROMETRIC IMS88M-AL #9256098 を販売中
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ID: 9256098
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2005
Optical CD and overlay measurement system, 6"
Measurement process: Automatic from cassette to cassette
Does not include flat pre-aligner
3 Axis:
Motorized X, Y and Z
Robot autoloader and pre-aligner
Auto focus
Auto illumination
Pattern recognition and vision-based measurements
Measurement specifications:
Overlay patterns
Box-in-box
Multi-bar patterns
L-Patterns
Overlay measurement accuracy (TIS): <0.010 um
Overlay measurement repeatability (3σ): <0.010 um
Line width measurement accuracy: 0.010 Micron
Line width measurement repeatability (3σ): 0.006 Micron
Motorized X,Y positioning stage
X,Y Stage travel: 8" x 8"
X,Y Stage velocity: 200 mm/sec
X,Y Positioning accuracy (Per axis): 2.0 microns over full travel
X,Y-Positioning resolution: 0.01 micron
Z Stage travel: 0.1" (2.5 mm)
Z-Positioning resolution: 0.01 micron
Robotic wafer loader and pre-aligner: 4"-8" Wafers
Dual cassettes
Loader / Unloader
Industrial rack-mounted computer
CPU Pentium IV 2.4 GHz
Hard Disk Drive (HDD): 100 GB
CD-ROM Drive
Ethernet communication
VGA Display
Keyboard and mouse
Operating system: Windows 2000
Computer vision system
CCD Camera
Frame grabber board
Microscope optical system:
High precision line width measurement
Vertical illuminator
Parfocal objectives: 10x BF and 100x BF
Monocular photo-tube with CCTV adapter
Computer controlled Illumination system
With 125 quartz-halogen lamp and fiber bundle
Glass-scale linear encoders
Resolution: 0.01 micron
Point-to-point measurements:
Edge detection
Intersections
Center lines
Circle centers and centroids
Option:
X-Y Grid plate calibration
7" x 7" With 140 mm x 140 mm grid
Temperature controlled chamber
Temperature controlled range: ±0.25°C
2005 vintage.
マイクロメトリックIMS88M-ALマスクおよびウェーハ検査装置は、マークおよび/またはウェーハの欠陥を検出するための信頼性の高い自動システムを提供します。このユニットは、長距離の双頭光学顕微鏡を備えており、大型サンプルの観察が可能です。この光学顕微鏡は、さまざまな画像サイズに対応することができ、小型半導体基板から大型光学・太陽光発電デバイスまで、あらゆるものを検査することができます。このマシンには、検査と分析の両方に役立つ他のいくつかのコンポーネントとハードウェアが含まれています。自動フォーカスモーターにより、調査中のウェーハを正確かつ迅速に調整できます。モータの解像度は2ミクロン以下で、ウェーハの正確なスキャンが可能です。デジタルイメージキャプチャカメラは、検査プロセスの精度をさらに向上させ、ピクセルサイズが非常に小さく、毎秒最大28フレームの欠陥をキャプチャします。このツールには、ナノメートルレベルまでの特徴を測定できるレーザーツールがさらに装備されています。これは非常に高い精度と組み合わされているため、精度と精度を必要とするプロジェクトに最適です。このモデルには、検査プロセスをさらに強化するさまざまなソフトウェアも含まれています。これには、光学文字認識（OCR）、パターン認識、統計的手法、その他多くの画像解析方法など、さまざまな画像処理方法が含まれます。これらは、迅速に欠陥、汚染の領域、または関心のある他の機能を識別し、分類するために使用することができます。また、このソフトウェアは、マスクまたはウェハサンプルの状態を評価するための強力なデータ可視化および分析機能も提供します。この装置は、画像、検査マップ、測定、検出結果など、さまざまな有用な出力を生成することができます。グラフィカルユーザーインターフェイスはまた、ユーザーが迅速かつ簡単にシステムを設定し、さまざまなタスクのためにそれをプログラムすることができます。これにより、各種材料の迅速かつ容易な検査・分析に最適です。IMS88M-ALは、低い所有コストでマークおよび/またはウェーハの欠陥を検出する信頼性の高い効果的な方法を提供します。堅牢な構造、信頼性の高いハードウェア、強力な付属ソフトウェアにより、このマシンは迅速かつ正確な検査および分析作業に最適です。
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