中古 MICRO ENGINEERING LM 320 #9123344 を販売中

MICRO ENGINEERING LM 320は、半導体産業に役立つように設計された自動光検査装置です。このシステムは、高速、高スループット、高精度のマイクロエレクトロニクスおよび光電子デバイスの効率的かつ正確なウェーハ検査に役立ちます。LM 320は最大8インチまでのウェーハサイズをサポートします。レーザーオートフォーカス機を搭載し、ウェーハ表面に素早く正確に焦点を当てることができます。このツールは、統合されたシングルおよびデュアルチャネルレーザーアライメントサブシステムを使用して、デバイスレベルで欠陥を検査できます。レーザーサブシステムの統合により、オープンヒューズ/ショート、粒子の汚染、微小亀裂、画像の不規則性など、さまざまな欠陥を検出する効率が向上します。さらに、不規則な形状の不具合を検出するための3D検査機能も備えています。このモデルは、ウェーハの光学特性を観察できる高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して、メモリデバイスやイメージセンサーなどの高度なウェーハを検査することができます。さらに、統合された画像処理ツールは、フォーカス、コントラスト、欠陥サイズ、欠陥特性などのさまざまな機能に関する情報を提供します。これは、オペレータが実際の欠陥とアーティファクトまたは誤報を区別するのに役立ちます。欠陥分類、ヒットミス、リワーク、ダブルパターニングなどの高度な検査モードをサポートします。さらに、ダウンタイムを削減するために、生産検査を自動化することができます。このユニットは、ビニング選別、欠陥リスト管理、歩留まり分析などの機能を備えており、オペレータが歩留まりの問題を迅速に特定して解決するのに役立ちます。最後に、MICRO ENGINEERING LM 320には、人間工学に基づいて設計されたワークステーションが装備されており、ユーザーの快適さを確保しながら、機械との簡単な相互作用を可能にします。