中古 METRICON 2010/M #293767526 を販売中
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METRICON 2010/Mは、要求の厳しいウェーハおよびマスク要件に対して高いスループットと高解像度の機能を提供するように設計された強力なウェーハおよびマスク検査装置です。このシステムは、高度な画像処理技術とイメージング技術を使用して、ウエハーおよびマスクパターンおよび欠陥をサブピクセルレベルで検査します。2次元イメージセンサを備えた大規模かつ高解像度のイメージングユニットを備えており、あらゆる目的で高いスループットと精度を実現します。一貫性と欠陥のために複数のパターンを比較するための光学系とデュアルビームパターンコンパレータが装備されています。また、独自のイメージングソフトウェアにより、画像処理および特徴抽出の速度と精度を最適化し、特定のウエハやマスクに対してカスタマイズされた検査方法を作成できます。また、このマシンはモジュール設計により柔軟性を提供し、プロセス要件に合わせて構成を調整することができます。ソフトウェアアーキテクチャはモジュール化され、高度に並列化されているため、検査順序やフローを効率的に制御してスループットを向上させます。さらに、パターン化されていないウェーハ、複雑な形状のマスク、格子構造など、さまざまなデバイスをサポートしています。さらに、METRICON 2010/Mには、精度を向上させ、結果を追跡するための統合された操作とテスト制御が含まれています。これにより、ファンアウトやレイヤ時間などのすべてのプロセスおよび検査パラメータが確実に記録および監視され、信頼性とプロセス制御が向上します。このツールには、簡単な操作のためのグラフィカルユーザーインターフェースコントロールも含まれており、画像検査環境にリンクすることができます。METRICON 2010/Mは、複雑なウエハーやマスクパターンの検査・試験に最適なツールです。他のシステムと比較して優れた画像解像度をユーザーに提供し、構成と統合された操作とテスト制御の両方で優れた柔軟性と制御を提供します。これらの機能により、プロセス制御の改善、欠陥の検出の改善、歩留まり向上が可能になります。その結果、ウェーハやマスク構造の自動・精密検査に最適です。
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