中古 MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR #9169499 を販売中

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マスク＆ウェーハ検査
製造業者
MCBAIN SYSTEMS
モデル
DDR-300 NIR
ID: 9169499
ウェーハサイズ: 8"-12"
SWIR Inspection system, 8"-12" Defect detection review for SWIR Fully automated Single cassette 8” wafer loader Unloader with 4 axis robot Pre-aligner Wafer cassette mapping Under / Over OCR cameras Objectives: 5x, 10x, 20x, 50x Camera sensor in-GaAs: 900nm - 1700nm sensitivity Inspection applications: For in-process, post-process and failure analysis Bonded wafer alignment Die alignment (flip-chip or hybridization) Subsurface defect visualization, detection, characterization MEMS Device inspection and metrology 3D Stacking process development and control Integrated CD / dimensional metrology functions Features: Extensive defect detection features and capability Integrated dimensional metrology features Sub micron-precision optical measurements High-accuracy staging to 20 nm linear encoder resolution Highest resolution: 900-1700 nm in GaAs digital camera in class High-speed linear servo motor staging 50-500 Defects / measurement / second per field of view Multiple wafer / die / part handling systems Application-specific customization software Semi standard S2/S8 compliant.
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MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIRは、マスクまたはウェーハのすべてのインシデント層に対して高精度の自動欠陥検出、分類、マッピングを提供するマスク&ウェーハ検査システムです。近赤外線（NIR）非破壊技術を使用して、0。13ミクロンの波長レベルで欠陥を検出することができます。NIR統合技術は、さまざまなNIR光でサンプルを照らし、特殊な充電結合デバイス（CCD）によって分析して欠陥署名を検出および局在化することによって機能します。DDR-300 NIRシステムは、ウェーハ欠陥の自動検出と特性評価、エレクトロマイグレーション、プロセス統合、CD測定など、ウェーハ検査機能の完全なセットを提供します。また、MCBAINのFocalpoint Suiteとソフトウェアを完全に統合することで、より細かい解像度のイメージングのためのウェーハ検査、統合、画像処理機能を提供します。欠陥検出に加えて、MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIRは、表面解析、オーバーレイ、BDQ （Bias Dependent Quantum-Leap）補正などの包括的な計測機能も提供します。DDR-300 NIRは、最高レベルの精度を提供する精密多軸ステージなどの柔軟な構成オプションを提供します。また、ピクセルピッチインフォーカスおよびオフフォーカス検出器、欠陥カバレッジを強化するマルチカメライメージングオプション、最先端のソフトウェアアルゴリズムなど、さまざまな検出器とイメージングオプションが付属しています。また、最大の欠陥カバレッジを得るためのエリアおよびラインスキャン段階も備えています。MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIRもユーザーフレンドリーな操作を提供しています。QWERTY膜タッチパッドを内蔵し、16インチのカラーLCDモニターにより、欠陥解析の明確な可視性を提供します。ユーザーインターフェイスの利便性は、ユーザーの疲労を軽減し、ユーザーが表面の領域に到達しにくい場合でも、欠陥を簡単に特定して見つけることができます。全体として、DDR-300 NIRは、0。13ミクロン分解能でウェーハの欠陥を識別し、欠陥検出、特性評価、マッピングにおける包括的な機能を備えた完全かつ信頼性の高い非破壊技術を備えた信頼性の高いシステムです。それは顧客の要求および企業の標準を満たす良質および信頼できるプロダクトを作り出すために理想的です。
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