中古 MATSUSHITA M777 #9329275 を販売中

ID: 9329275
Pellicle demounter 2012 vintage.
MATSUSHITA M777マスク&ウェーハ検査装置は、半導体ウェーハおよびフォトマスクの検査用に特別に設計された高精度の光機械計測装置です。半インチテレセントリックレンズを使用して、1ミクロン以上の分解能で標本をイメージします。サンプル表面の画像は複数の軸外拡大で撮影され、包括的な表面検査と分析が可能です。M777は様々な光学イメージング技術を使用して、レーザー干渉計、無色イメージング、位相測定などの検査プロセスを実行しています。これにより、ウェーハ表面の高分解能解析が可能となり、フィーチャーサイズ、表面フィーチャー、粒子汚染の精密な測定が可能となります。このシステムには、10ナノメートル以上の測定結果の再現性を可能にする自己完結型の自己校正ユニットが装備されています。ウェハマッピング機能を備えており、検査中のウェハトラッキングが可能です。また、欠陥データベースをMATSUSHITA M777にプログラミングして欠陥領域を追跡し、後でレビューおよび特性評価を行うことができます。このツールは、チップトポロジやフィーチャー配置などの非常に微細な表面ディテール、および顕微鏡で解決するには小さすぎる機能をキャプチャすることができます。これにより、1ナノメートル以下の解像度で高精度のウエハ構造を解析することができます。M777アセットは、ユーザーと機器自体を保護するための安全機能も備えています。ESD保護された内部環境と、検査エリアからの光を防ぐための反射/非反射ドアデザインを内蔵しています。また、専用の冷却回路を備えており、動作中のモデルの過熱に対する保護を提供します。MATSUSHITA M777装置は、半導体ウェーハやマスクを検査するための非常に優れた計測機器です。その光学イメージング技術により、表面解析の精度を最大限に高め、内蔵の安全機能により、動作中の保護が強化されます。使いやすさと優れた性能を備えたM777マスク&ウェーハ検査システムは、高度な半導体計測に最適です。
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