中古 MATSUSHITA M515-III #9361954 を販売中

MATSUSHITA M515-IIIは、基板の高速・高精度測定用に設計されたマスク・ウエハ検査装置です。半導体デバイス・プローブおよびその他の半導体関連デバイス向けの包括的な測定ソリューションを提供します。M515-IIIは、高解像度イメージングと自動測定機能を備えた高度な光学イメージングシステムを搭載しています。このユニットは、さまざまな計測パラメータを正確に測定するために、電動ステージとオシロスコープを備えた客観的フォーカシングマシンを内蔵しています。また、マスクパターンやウェーハレイアウトスキャンの自動測定用のリモートコントロールユニットも付属しています。松下M 515-IIIのイメージング機能には、高解像度、遠距離/近距離イメージング、さまざまなコントラストと明るさ制御アルゴリズム、色検出、自動欠陥検出、トレーサビリティのためのVCR/フィルムエミュレーションなどがあります。このツールは、ウェーハとマスクの両方の計測データを高速かつ正確に測定することもできます。M515-IIIの組み込みロボティクスは、正確な単一/繰り返し測定と自動ウェハマッピングを可能にします。シングルおよびデュアルチャネルシステムをサポートし、自動パターン配置およびウェーハイメージをサポートし、誤った機能検出機能を強化しました。MATSUSHITA M515-IIIには、決定論的な出力測定と統計データを生成するインテリジェントな機能解析が付属しています。また、光学プロセス制御、光学ウェハモニタリング、オーバーレイ登録、およびダイ識別を実行できます。さらに、大容量メモリ、低ノイズアンプ技術、最大9。5 µmの光学的深度を持つ高度な分解能の光学技術を備えています。M515-IIIは、市場で最も先進的で洗練されたマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。ユーザーに究極の制御、精度、測定性能を提供します。高度なロボティクス、インテリジェントな機能解析、高解像度イメージング、拡張メモリ容量などの機能により、松下M515-IIIは大量のタスクに最適なソリューションであり、精度と精度の要求に応えます。