中古 LEITZ MPV-CD2 #293749265 を販売中
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LEITZ MPV-CD2は、1Xおよび5Xステッパーおよびスキャナの両方の顕微鏡ベースのマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、干渉顕微鏡、画像検出器、マイクロメータヘッドの3つの光学部品で構成されています。干渉顕微鏡は、検査中にマスクとウェーハの画像をキャプチャするために使用されます。これは、0。34の数値開口部と1/2 ″センサーを備えた対物レンズを持っています。また、デジタルフォーカスロックを備えており、マスクやウェーハの動きに関係なく連続的なフォーカスが可能です。画像検出器は、2,048×2,048ピクセルと12ビットのデジタル化を備えた充電済みカップルデバイス(CCD)です。これは、3 25µmの視野から完全なµm画像を生成することができます。また、画像の詳細を最大化するために最大10,000xの可変利得を備えています。マイクロメーターヘッドは、検査工程中の正確さを正確に把握するために使用されます。4軸回転段に取り付けられており、25µm精度で検査ごとに100%の精度を確保しています。MPV-CD2には、さまざまなユーザーフレンドリーな機能も備えています。これには、サードパーティのアプリケーションとの直接通信を可能にするインターフェイスが含まれています。各検査の結果を記録するプロセス監視ユニット。そして最高のイメージの質を保障する干渉赤灯の保護機械。LEITZ MPV-CD2は使いやすく、高精度であり、マスクやウェーハ検査に最適なソリューションです。小さな画像から大きな画像の欠陥まで、MPV-CD2の機能は、すべての検査が正確で信頼できるという自信をユーザーに提供します。
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