中古 LEITZ MM6 #9150088 を販売中

LEITZ MM6 Mask&Wafer Inspection装置は、さまざまなウェーハサイズのさまざまな欠陥を高速かつ詳細に検査する自動ウェーハ欠陥パッチ検査システムです。このユニットは、パターン認識技術を使用して、設計およびプロセス関連の欠陥を検出します。これは、高精度、高速かつ信頼性の高い欠陥検出と分類を提供します。このマシンは、ハードウェアとソフトウェアモジュールを包括的に統合し、連携して包括的なウェーハ欠陥検出と修正の自動ソリューションを提供します。マスク検査サブシステム、パターン認識サブシステム、欠陥分類サブシステム、欠陥ローカライゼーションサブシステム、マスクデータアーカイビングサブシステムなど、さまざまなサブシステムが含まれています。マスク検査サブシステムを使用すると、最適なパッチ選択と欠陥確認のためにさまざまなスキャンモードから選択できます。ラインスキャン技術を活用し、優れた精度を実現しています。スキャンモードには、シングルスキャン、マルチスキャン、コントラストスキャン、セグメントスキャン、リバーススキャンが含まれます。パターン認識サブシステムは、光学的および物理的パターン認識、SI （Silicon-on-Insulator）フィッティングアルゴリズム、最先端のテンプレートマッチングアルゴリズムなど、さまざまな方法を使用して欠陥を特定します。粗さ、汚染、エッジ粗さなど、幅広い欠陥を識別することができます。欠陥分類サブシステムは、各欠陥に分類番号を割り当てる高度な技術です。これにより、欠陥の種類とサイズを迅速かつ正確に特定できます。分類コードには、欠陥の重大さを示す数字が含まれています。欠陥ローカリゼーションサブシステムは、欠陥位置を正確に特定して監視するために使用されます。このツールは、高解像度で非常に小さな欠陥を検出することができます。Mask Data Archivingサブシステムを使用すると、ユーザーは将来の参照用にマスクデータを保存できます。最大10,000個のマスクパターンをアーカイブできます。MM6 Mask&Wafer Inspection Assetは、ウェーハ検査と欠陥補正の精度と効率を保証する強力なツールです。これは、効率的な欠陥パッチの検査と修正のための包括的で自動化されたソリューションを提供します。このモデルは、信頼性と高速動作を提供し、優れた結果を提供します。