中古 LEITZ Ergolux #9151463 を販売中

LEITZ Ergoluxは、半導体製造で使用されるウェーハやマスクの欠陥を迅速かつ正確に検出するために設計された優れたマスクおよびウェーハ検査装置です。最先端のLED技術と革新的な光学部品を備え、最高の効率と精度を提供します。このシステムは、マスクやウェーハの表面の高解像度画像を生成するためにコリメート構造光ユニットを利用しています。統合された3Dビジョンセンサーは、これらの画像を正確にキャプチャし、ショートパンツ、開口部、エッジ欠陥、欠損ラインなど、さまざまな欠陥を分析します。また、製造中に問題を引き起こす可能性のある異物や汚染物質を識別することができます。Ergoluxは従来のマスキングシステムよりも多くの種類とサイズの欠陥を検出できるため、量産に最適です。このツールは高速で、単一のパスで1つのウェーハ上の複数のサイトを検査することができます。アセットの統合された光学系には、高速レーザースキャナーと、ウェーハまたはマスクの各サイトを個別に検査する高解像度デジタルカメラが搭載されています。これにより、より高い精度が保証され、極端な環境条件下でも信頼性の高いモデルとなります。LEITZ Ergoluxは、高度なアルゴリズムとソフトウェアを使用して画像の各ピクセルのコントラストと空間応答を計算することにより、自動的に欠陥検出を備えています。従来のマスキング技術では見にくい色素欠陥を検出する色検査も可能です。装置は容易な統合のために設計され、さまざまなウエハーおよびマスクのサイズとの互換性だけでなく、セットアップされます。システムの小さな設置面積と柔軟な取り付けオプションにより、狭いスペースに設置するのに最適です。さらに便利に、Ergoluxはインターネットや他のネットワーク接続を介して遠隔操作および監視することができます。さらに、このユニットは、頻繁に使用される設定を覚えておくために事前にプログラムすることができ、マシンを構成する際の時間と労力を節約できます。LEITZ Ergoluxは、マスクやウェーハの欠陥を迅速かつ正確に検査する信頼性の高い方法を提供しているため、半導体製造業者の間で非常に人気のある選択肢です。その堅牢な設計、高度な機能、簡単なインストールにより、あらゆるマスクまたはウェーハ検査機に最適なソリューションです。