中古 LEITZ Ergolux #193173 を販売中

LEITZ Ergoluxマスク&半導体イメージング用ウェーハ検査装置は、シリコンウェーハおよびマスクの検査に業界トップクラスの精度と効率を提供するユニークなシステムです。このユニットは、高度なビジョンと計測機能を統合したユニークなロボットイメージングプラットフォームを利用しています。Ergoluxマシンは、ウェーハとマスクの損傷の可能性と従来の検査方法で費やした時間とリソースの両方を削減する効果的で非破壊的なイメージング環境を提供するように設計されています。LEITZ Ergoluxはオペレータに優しいように設計されており、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、パラメータと構成を素早く設定できます。自動ツール制御（ASC）ソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルプログラミング要素を使用して、自動化された測定サイクルを簡単に整理するためのプログラミングツールを提供します。統合されたVisionおよびMetrologyシステムを使用すると、オペレータは測定パターンを迅速に定義および調整でき、広範な測定結果抽出機能と組み合わせると、ウェーハおよびマスクの包括的な非破壊解析を確実に実行できます。Ergoluxには、多軸スキャン、ズーム、パン、傾き、スキャンデッキ回転、スキャンエリア投影、画像アライメント補正などの高度なステレオビジョン機能が含まれています。多軸イメージスキャンは、従来のマニュアルまたはスキャナ検査で一般的に観察されるモーションアーティファクトを排除し、異なるウェーハおよびマスクジオメトリにわたってより厳密で正確な測定を行うことができます。ズーム機能とパン機能により、より大きな画像をキャプチャして検査することができ、欠陥解析の詳細を提供します。LEITZ Ergoluxプラットフォームの光学顕微鏡は、画像で特定された潜在的な欠陥や異常を詳細に分析します。また、大型集積回路におけるレジスト画像歪み、ワイヤ破損、短絡などの複雑な欠陥の特定をさらに支援するために、交換可能な対物レンズを備えています。さらに、顕微鏡を使用して、ウェーハまたはマスクの前面と背面の両方を検査し、さらなる故障解析を行うことができます。さらに、Ergoluxには、検査プロセス中にウェーハまたはマスクのひずみレベルを測定するために設計された自動非破壊型ウェーハストレスアナライザが含まれています。NDSSAは、HPS™の高精度センサーを使用してウェーハやマスクの表面の応力をマッピングする非接触アセットです。この応力解析測定は、ウェーハまたはマスクの小さな変化を検出するために使用でき、欠陥のない製造を保証するためにウェーハまたはマスクの包括的な概要を提供します。LEITZ Ergoluxは、半導体イメージングアプリケーションに最適な革新的なイメージングモデルです。高度なイメージング機能、自動ウェーハストレス解析、直感的なユーザーインターフェイスにより、最も要求の厳しいプロセス要件を満たす効率的で正確な検査結果を提供します。Ergolux装置は、厳しい生産環境のために設計されており、半導体検査プロセスに堅牢な結果を提供します。