中古 LEITZ Ergolux #131146 を販売中

LEITZ Ergoluxは、マスクおよびウェーハ検査システムのリーダーです。この装置は、粒子、傷、アスペリティ、および小さな特徴を含む欠陥のためのマスクおよびウェーハの正確で高スループット検査用に設計されています。検査精度と速度を向上させるための高度なスキャンアルゴリズムと、コンタクトホール、開口部、ビアなどのファインストラクチャイメージング用の高解像度イメージングを備えています。このユニットは、単一の光に敏感なイメージングヘッドを使用して、複雑さを軽減し、最適なパフォーマンスを保証します。イメージングヘッドには、セグメント化されたリニアフォトダイオードセンサと、最大100mm以上の可変光学的視野を備えています。これにより、高解像度の画像を同時にスキャンし、広い領域をすばやく検索できます。このツールには10軸モーションコントロールアセットが装備されており、モデルの超微細動作能力を強化します。モーションコントロール装置は、高品質の画像をキャプチャし、重要な情報を迅速かつ正確に抽出するために、スキャンレーザーシステムと統合されています。このユニットには、高度なパターンマッチングアルゴリズムを使用して特徴と潜在的な欠陥を正確に識別するインテリジェント欠陥検出（IDD）マシンも装備されています。このツールはまた、ユーザーが疑わしい欠陥をすばやく調査できる高度な故障解析機能を備えています。Ergoluxはオープンプラットフォームの資産でもあります。LEITZツールキットを使用してプログラムされているため、ユーザーは特定のプロセスニーズに合わせた検査プロトコルを柔軟に開発およびカスタマイズできます。統合ソフトウェアはまた、モデルの構成、ジョブの作成と管理、欠陥検出ポリシーの開発、および詳細な検査結果のレビューに使用できる強力なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。LEITZ Ergoluxは、1時間あたり最大120ウェーハの優れたスループットと、97％までの高い欠陥検出率を提供します。この装置は信頼でき、正確な性能を提供し、あらゆる点検適用のための大きい選択をします。