中古 LEITZ Ergolux #118783 を販売中

LEITZ Ergoluxは、半導体製造プロセスにおける品質に関する問題を特定し、対処するために設計された最先端の精密マスクおよびウェハ検査装置です。システムの洗練されたビジョンとオートメーションソリューションは、全体的な品質保証プロセスの有効性を最大限に高めるように設計されており、検査されたウェーハあたりの全体的なコストが削減されます。Ergoluxは、粗い機能の自動3D検査から、細かい機能と複雑な機能の両方の包括的な2D検査まで、さまざまな高度な機能をユーザーに提供します。マスクとウェーハの両方の2次元トポロジーをキャプチャすることができ、ユニットは、以前のリソグラフィ露光層のパターンまたは構造の誤差を正確に検出することができます。また、t-top構造、バルク欠陥、エッチング欠陥、およびその他の異常などのパターン化されていない機能の存在を検出するためにも使用できます。このマシンは、6軸マルチセンサ部品アライメントツールを採用しており、ビジョンと強制変位技術を組み合わせて、プロセス全体で正確な部品アライメントを保証します。このアセットにより、モデルの視野でウェーハまたはマスクを迅速かつ正確に整列させることができ、手動整列に固有の潜在的なエラーを排除します。LEITZ Ergoluxは、堅牢な照明とイメージング機能も備えています。この装置は、精密なn次元イメージングを保証し、正確な測定と評価を可能にするために、さまざまな光源を提供します。さらに、Ergoluxはユーザーにさまざまなレンズオプションを提供し、特定のイメージングおよび分析要件に応じて最適なオプションを選択できます。さらに、より大きなマスクチップの検査アルゴリズムの強化、高度な欠陥レビューおよびレポートマシンなど、ユニットの機能を拡張するためのさまざまなオプションのエレクトロニクスベースのモジュールとアップグレードパッケージを提供しています。これにより、製造および検査プロセスの正確なニーズを満たすためにツールをカスタマイズする柔軟性をユーザーに提供します。最後に、LEITZ Ergoluxは、マスクとウェーハ検査の複雑で精巧なタスクを管理するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスをユーザーに提供します。これにより、ユーザーは資産設定の設定、検査結果の表示、検査から生じるデータのレビュー、分析、解釈をはるかに容易にします。要するに、Ergoluxは強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査モデルであり、半導体製造プロセスにおける品質に関する問題を迅速かつ正確に特定し対処するための幅広いツールと機能をユーザーに提供することができます。