中古 LEICA / VISTEC MIS 200 #9250501 を販売中
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ID: 9250501
ウェーハサイズ: 8"
Inspection system, 8"
Handler and motor stage
No scope
No Hard Disk Drive (HDD).
LEICA/VISTEC MIS 200は、マスクおよびウェーハ検査装置であり、高い精度、スピード、一貫性を有するマスクおよびウェーハの検査および特性評価が可能です。従来の検査方法よりもはるかに正確であり、欠陥の迅速な検出を可能にします。LEICA MIS 200は、その精度と精度を最大化するために共焦点光学システムを利用しています。共焦点光学は、調整可能なスリットを備えた対物レンズと、固定開口を備えた集光レンズで構成されています。この光学系では、マスクまたはウェーハに焦点を当てた光を通過させることができ、その後、ガルバノメータースキャナと2軸のガルバノメーターマウントミラーユニットを使用してスキャンされます。これにより、マスクまたはウェーハのさまざまな機能に照射し、正確に照射することができます。VISTEC MIS 200の主な利点は、2nm未満の精度で、マイクロおよびナノスケール範囲の欠陥を正確に検出することです。さらに、コーナー、エッジ、角度などの局所的な形状や特徴を高精度で識別し、測定することができます。また、CD （CD）、線幅などのパラメータを高精度で測定することができます。さらに、高速画像処理アルゴリズムと高感度光計測器を搭載し、検出効率を最大限に高めています。このマシンは、VoidやVoid Gapsなどの非反射表面トポロジーを検出し、弱反射領域の粒子を識別することができます。SUMMARYLEICA/VISTEC MIS 200は、マスクとウェーハの検査ツールであり、高い精度、速度、一貫性を備えたマスクとウェーハの検査と特性評価が可能です。その精度と精度を最大限に高め、コーナー、エッジ、角度などの様々な特徴を高い精度で検出するために、共焦点光学アセットを使用しています。さらに、VoidやVoid Gapsなどの非反射表面トポロジーを検出し、弱反射領域の粒子を識別することができます。CD （CD）、線幅などのパラメータを高精度で測定することも可能です。
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