中古 LEICA / VISTEC LWS 3000 CFI #9155206 を販売中

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ID: 9155206
Wafer measurement system 1993 vintage.
LEICA/VISTEC LWS 3000 CFIは、最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。一般的に使用されるリソグラフィ技術や電子ビームイメージング技術など、集積回路(IC)製造マスクの検査に包括的な機能を提供します。LEICA LWS 3000 CFIは、高度な検査および計測技術を使用して、マスクパターンと欠陥をリアルタイムで詳細に分析します。これは、マスクパターンの微細なラインや形状の最小のバリエーションでもキャプチャするために洗練された機能認識技術を利用して、包括的な欠陥分類を含みます。自動化された光学システムを介して高解像度のイメージングを提供し、電子ビームのイメージングはデュアルビームイオン源テクノロジーを介して提供されます。正確な測定を1。0 um以内に行うことで、結果の精度と再現性を確保することができます。この精密測定ツールは、4インチのオリジナルのスペースミラーカメラを備えており、すべての測定が同じ正確な位置から確実に行われます。VISTEC LWS 3000 CFIは、多目的オートメーション機能も備えており、生産現場からラボまで効率的に作業できます。これには、検査結果のトレーサビリティを提供する強力な可視化および管理ユニットが含まれます。自動化された機械Logbookは、将来のアクセスと分析のための安全なクラウドベースのツールにすべてのデータを保存します。アセットは現代的なマスク生産の要件を満たしており、徹底的に検査され検証されたマスクの信頼性をユーザーに与えています。マスクの製造環境でも信頼性の高い性能と生産性を提供し、最初から最後までの品質管理に優れています。結論として、LWS3000 CFIは、信頼性の高い性能と生産マスクの自動検査を可能にします。正確な測定と特徴認識機能により、迅速でコスト効率の高い生産が可能になります。また、自動化された機能により、ユーザーの労力を最小限に抑え、処理時間を短縮できます。LEICA/VISTEC LWS 3000 CFIは、マスクの製造と検査に理想的な選択肢です。
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