中古 LEICA / VISTEC LDS 3300M #293652321 を販売中

ID: 293652321
ヴィンテージ: 2007
Inspection system 2007 vintage.
LEICA/VISTEC LDS 3300Mは、ファインラインとハイコントラスト機能で構成されるフォトマスクとウェーハの高精度分析を目的とした完全自動マスクおよびウェーハ検査装置です。高解像度1000 μ mのエリアカメラを搭載し、最大140MPの解像度を実現し、表面およびサブサーフェス機能の高解像度イメージングが可能です。反射マスクと伝送マスクの両方の幅広い材料をサポートし、20nmまでのラインとスペースの特徴のイメージングを可能にします。LEICA LDS3300Mには、画像減算、画像追加、比較、マスクアライメントなどの強力な後処理ツールが多数搭載されています。整列した画像は、カラーコーディング、3D検査、偽のカラーマッピングなどの機能でさらに処理できます。VISTEC LDS 3300 Mには、高度な光学系および画像処理機能が搭載されており、信頼性、正確性、迅速な検査を保証します。独自の高精度検査技術は、マスクとウェーハの寸法精度などのアライメント精度を評価するために特別に設計されています。このユニットは、マスクの認定、製品設計の開発監督、パラメータの検証と確認に最適です。精度に加えて、複数の検査タスクを並行して実行するようにプログラムすることができ、プロセスと製品のデータスループットを向上させることができます。LDS 3300 Mには高度な明るさとコントラスト制御ツールが搭載されており、ユーザーは明るいフィールドと暗いフィールドの両方のイメージングのための明るさとコントラスト設定を変更し、イメージノイズと画像欠陥を区別することができます。さらに、この資産には統合された自動欠陥レビューおよび分類プロセスが含まれており、検査およびレビュー中の生産性の向上を可能にします。LDS3300Mには、信頼性の高いチップ生産プロセスを保証するための組み込みチップ認定モジュールのセットと、マスク性能の質的および定量的な評価を容易にするさまざまな組み込みパフォーマンス指標も含まれています。最後に、LEICA/VISTEC LDS 3300 Mに含まれる予防メンテナンスモデルは、機器がピーク効率で一貫して動作することを保証します。このシステムは、リモートのエラー検出と通知を可能にし、ハイスループットおよび重要な製造環境に最適です。LEICA LDS 3300Mは、マスクおよびウェーハ検査に迅速かつ正確で信頼性の高いソリューションを提供し、今日利用可能な最も先進的なマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。
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