中古 LEICA / VISTEC LDS 3300C #9249375 を販売中

LEICA/VISTEC LDS 3300Cは、LEICAが開発したハイエンドマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウェーハのパターンを検出して特定し、ピッチ、オーバーレイ、欠陥サイズなどの機能に関する情報を提供するように設計されています。LEICA LDS 3300Cは、粒子欠陥、エッチング欠陥、登録エラー、表面変動など、幅広い欠陥を検出できる包括的なシステムです。VISTEC LDS3300Cは、コントロールユニット、ビジョンユニット、ウェハンドラの3つのコンポーネントで構成されています。コントロールユニットには、ソフトウェアアプリケーションの中央処理、制御、分析が含まれています。ビジョンユニットには、イメージング用のデュアル対物レンズと、処理するコントロールユニットに検査信号を送信するハードウェアコンポーネントが含まれています。ウェーハハンドラーは、ウェーハを取り付け、検査のための位置に移動する責任があります。LDS3300Cには、ウエハ検査（UDI）とCS （Circular Scanning）の2種類があります。UDIは、ウエハ表面のフルフィールドマスキングと登録を検査するために使用されます。CSは、高速ウェーハ検査、ウェーハの周囲に沿ってウェーハの一部をスキャンするために使用されます。UDIとCSの両方で、LDS 3300Cはピッチサイズよりもはるかに小さい欠陥を検出します。また、絞りエッジの誤記入や隔離された欠陥などの検出が困難な欠陥も識別できます。VISTEC LDS 3300Cは、画像処理と評価にVISTECの高速で信頼性の高いアルゴリズムを利用し、ユーザーに高速なパフォーマンスを提供します。このユニットはマルチサイトウェハスキャンも可能で、他のソフトウェアアプリケーションやカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションと簡単に統合できます。全体として、LEICA/VISTEC LDS3300Cは、比類のない精度、信頼性、速度を提供する機能を備えた高度なマスクおよびウェーハ検査機です。LEICA LDS3300Cのユーザーは、強力でユーザーフレンドリーなインターフェースにより、マスクとウェーハの高品質な表面構造を保証できます。