中古 LEICA / VISTEC LDS 3000M #9163873 を販売中

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ID: 9163873
ヴィンテージ: 2004
Inspection system P/N: 11020614089000 2004 vintage.
LEICA/VISTEC LDS 3000Mは、半導体製造および研究アプリケーションの厳しい要求に対応するように設計された強力で信頼性の高いマスクおよびウェハ検査装置です。3000Mは、高度な光学系、精密ハードウェア、自動ソフトウェアシステム、高度な画像処理機能を利用して、ウェーハやマスクの物理特性を包括的かつ正確に把握しています。LEICA LDS 3000Mは、さまざまなユーザー要件のニーズに合わせて適応可能な多面的なシステムです。ワイドフィールドイメージングユニットを使用して、調整可能な焦点深度と高解像度でマスクパターンとウェーハ表面の画像を収集します。VISTEC LDS 3000Mには、正確な解析のためのさまざまな高度な画像処理アルゴリズムも含まれています。これらのアルゴリズムは、パターン欠陥、非均一性、および粒子位置に関するリアルタイム情報を提供します。LDS 3000Mは、さまざまな実験室や製造環境に簡単に収まる頑丈でコンパクトな設計で構築されています。その堅牢な構造により、クリーンルームや生産フロア環境などの過酷な条件下で動作することができます。さらに、LEICA/VISTEC LDS 3000Mは、サンプルからサンプルへの効率的な移動を可能にする完全自動化された電動XYステージマシンを使用しています。LEICA LDS 3000Mは、サンプル全体の光の完全な均一性と最大の電磁両立性を保証する高度な照明技術を利用しています。これにより、一貫性のない光強度によって引き起こされる偽陽性の信号が排除され、検査プロセス中に微妙なサンプルを損傷するリスクが軽減されます。また、VISTEC LDS 3000Mは、検査プロセスをより簡単かつ迅速にする直感的なソフトウェアツールを備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを内蔵しています。ソフトウェアパラメータは、さまざまなアプリケーションに対応するように調整でき、詳細な分析レポートを生成して将来の参照用に保存することができます。LDS 3000Mはマスクおよびウェーハの点検適用のための優秀な性能を提供します。高度な光学系、精密ハードウェア、自動化されたソフトウェアシステム、高度な画像処理機能により、さまざまなアプリケーションで正確で信頼性の高い結果が得られます。
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