中古 LEICA / VISTEC LDS 3000 #9237522 を販売中
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LEICA/VISTEC LDS 3000は、光学マスク、フォトツール、ウェーハを正確に検査・評価するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置で、集積回路(ICなどの高精度部品の製造に使用できます。高度な画像解析と可視化機能を統合したシステムにより、オペレータは様々な種類のマスクやウェーハの欠陥を容易に特定できます。このユニットは、業界をリードするイメージングマシンと技術を使用して、ウェーハのマスクと断面イメージングの両方に最高レベルの性能検査を提供します。独自の18インチフラットパネルモニターと高解像度の光学顕微鏡を備え、優れた画質を実現しています。ユーザーフレンドリーで、迅速かつ簡単な操作のための複数のオプションを提供しています。光学倍率の解像度は最大100X、走査型電子顕微鏡(SEM)イメージングの解像度は最大1000Xです。このツールには、最適化された欠陥検査基準を生成するための自動パターニング機能が装備されています。また、LEICA LDS 3000は、精度と効率を向上させるための特別な欠陥パラメータを作成することができます。画像処理から欠陥検証まで、ウェーハ検査プロセスをカスタマイズすることができます。さらに、内蔵の高解像度イメージングと自動パターン認識により、正確なマスクとウェーハを保証します。アセットは、線幅、ダイサイズ、ノッチ長など、さまざまな重要なサイズと寸法を測定することもできます。さらに、ライブラリ比較、誤報スクリーニング、欠陥履歴ストレージなどの特殊な欠陥データ管理機能を提供します。マスクとウェハアライメントのために、VISTEC LDS 3000は完全に自動化されたロボットビジョンモデルを使用します。この装置はミクロン単位で正確であり、複雑な登録マークと構造を正確に整合させることができます。さらに、内蔵のデータベース追跡により、ユーザーはすべての欠陥と検査活動を追跡することができます。結論として、LDS 3000は、最も要求の厳しいアプリケーションの要件を満たすように設計された信頼性の高い強力なマスクおよびウェーハ検査システムです。その高度な機能と機能は、ユーザーが迅速かつ簡単に優れた結果を達成することができます。
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