中古 LEICA / VISTEC INS 3300 #9200027 を販売中

LEICA/VISTEC INS 3300マスクおよびウェーハ検査装置は、フォトマスクおよびウェーハの検査および特性評価のための最先端の専用検査システムです。このユニットは、自動ADC（検査および測定アルゴリズム）と高度な平面外測定技術を利用するように設計されています。この機械は独自の自動マスク検査プロセスを備えており、平面内の膜厚分析、および全体的なマスク機能性能のインプロセス検査を可能にします。このツールは、光学部品、サンプルステージ、および高出力CCDビデオカメラで構成されています。自動インスペクターは、レーザーポジショナーと可動ヘッドを備えています。スキャンおよび測定機能により、自動アラインメントが可能になり、精度とスループットを向上させるための高度なフォルト検出プロセスを備えています。このアセットは、さまざまなサイズのウェーハおよび関連材料のウェーハ平坦性および欠陥特性の詳細なマッピングを提供することもできます。ウェーハイメージングは、光学顕微鏡とX線顕微鏡の両方を組み合わせて、近原子分解能で画像を取得することによってサポートされています。また、マッピング分解能は詳細な解析を行うのにも十分であり、ウェーハ上の表面地形や欠陥位置を決定することができます。プロセス制御の面では、LEICA INS 3300は、ウェーハと材料の温度と電力生産を管理するためのプロフェッショナルグレードのフィードバック制御を備えています。これにより、ウェーハ上で正確な地形レベルの機能相互作用を提供しながら、可能な限り最高の画像を取得することができます。このモデルは、最も厳格な品質基準に従って製造され、最高の精度のサンプルが達成されることを保証します。さらに、外部システムと通信するためのASCII/RS232インターフェイスと、機器コンポーネントの保護を強化するための堅牢な環境エンクロージャを備えた、最も要求の厳しい検査およびテスト環境を処理するために構築されています。全体として、VISTEC INS 3300マスクとウェーハ検査システムは、フォトマスクとウェーハの高度な検査と特性評価のためのハイエンドのユニットです。自動的な検査、測定、フィードバック制御機能を組み合わせることで、高精度な画像処理結果を得るための信頼性と効率性を実現します。