中古 LEICA / VISTEC INS 3300 #9174843 を販売中

LEICA/VISTEC INS 3300は、高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。自動ウェーハ検査と無色寸法測定を使用して、マスクまたはウェーハの欠陥を特定して修正します。このシステムの3次元イメージング機能は、マスクまたはウェーハの現在の構造の高解像度地形画像を提供します。このユニットは、自動化された操作のために設計されており、一貫したイメージング結果を保証するための独自の自動アライメント機能を備えています。機械には、データを自動的に分析し、欠陥を検出するためのさまざまなアルゴリズムも装備されています。これらのアルゴリズムは、粒子欠陥、表面の不規則性、パターン欠陥、スケーリングの問題を検出するように設計されています。このツールは、アセットへのウェーハの手動入力と、ロボットウェーハハンドラを使用した自動ローディングの両方をサポートします。オートローダーは、一度に最大50個のウェーハを配置することができます。機械は大きい生産のために絶えず動くように設計されています。さらに、このモデルには、パフォーマンスと結果を追跡するための統計的プロセス制御（SPC）パッケージが装備されています。このSPCパッケージは、ユーザーが本番環境に悪影響を及ぼす前にトレンドを確認し、問題の可能性を特定できるリアルタイムデータを提供します。これらのデータはすべてユーザーフレンドリーなGUIを介してアクセスできます。LEICA INS 3300を使用すると、ユーザーはオンウェーハと基板全体の両方で重要な寸法を正確に測定できます。装置はサブミクロンレベルで正確であり、収集されたデータは通常、プロセス制御および特性評価に使用されます。VISTEC INS 3300は高度な検査システムです。独自の自動アライメント機能を備えた自動操作を提供し、マスクまたはウェーハの構造の高解像度地形画像を提供し、あらゆる欠陥を自動的に検出するさまざまなアルゴリズムを備えています。さらに、パフォーマンスと結果を追跡するための統計的プロセス制御パッケージ、およびオンウェーハおよび基板全体の重要な寸法を測定する機能を備えています。要するに、INS 3300は完全で正確で効率的なマスクとウェーハ検査を提供します。