中古 LEICA / VISTEC INS 3300 #9043662 を販売中

ID: 9043662
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Wafer inspection system, 8" Hard Disk Drive (HDD) missing 2003 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3300は、トップダウンまたはボトムアップ検査用に設計された汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。モジュール性と拡張性により最大限の柔軟性を提供し、ユーザーは基本的な構成から始め、変化するニーズに合わせて時間をかけて高度なオプションを追加できます。このシステムは、0。8〜0.25µmの全露光範囲にわたって最大分解能の6.5keVを備え、幅広い検査が可能です。DoFC (Depth of Focus Control)や90°オートステッチなどの機能により、不均一な地形や困難な表面のサンプルの検査に最適です。LEICA INS 3300は、200mmまたは300mmのウェーハを最大2個保持し、マルチチップマッピングのための自動アライメントと同じウェーハを2回検査する機能を備えた汎用性の高いステージを備えています。また、正と負の両方の極性マスクを保持するように調整できる可動式マスクテーブルで、さまざまなマスクサイズに対応できます。ハイエンドのオートメーション機能と欠陥レビュー機能は、欠陥を特定し分類するための強力で効率的なツールをユーザーに提供します。さらに、パターンや基板の電気的および光学的特性を測定するための汎用性と高度な機械を提供しています。これには、Digital Pattern Analysis (DPA)やDIS (Digital Image Scanner)などの自動電気計測システムが含まれ、ユーザーは電気画像を素早くキャプチャして分析することができます。これらのシステムは、多波長フォトマスクアライナーと組み合わせることで、オプトエレクトロニクス測定にも使用できます。全体として、VISTEC INS 3300は強力で汎用性が高く、使いやすいマスクおよびウェーハ検査ツールです。様々な検査が可能で、変化するニーズに合わせて容易に対応できます。堅牢で費用対効果の高い資産を探しているラボに最適で、最も複雑なパターンや基板を迅速かつ正確に分析できます。
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