中古 LEICA / VISTEC INS 3000 #9236858 を販売中

LEICA/VISTEC INS 3000は、マスクおよびウェハ検査用に設計された自動光学検査（AOI）装置です。この革新的なシステムは、ウェーハ処理とサブ100nmリソグラフィの要求の厳しい要件のために設計されています。信頼性とコスト効率に優れたユニットで、均一な一貫性で高いスループットを処理できます。このマシンは、3D再構築機能を使用して欠陥を検出して識別することができ、欠陥解析機能と機密検査を統合します。そのモーターを備えたZ軸は、ズーム、パン、フォーカシング、自動校正など、さまざまな検査段階を可能にします。また、パルスレベルでの明確な欠陥画像を提供します。LEICA INS 3000は、ウェーハのZ軸に3台のカメラを配置した先進的な光学系を採用しており、あらゆる検査作業に適しています。統合された画像形成とパターンマッチングエンジンにより、高速スキャン、正確かつ反復可能な結果、および簡単な操作で検査効率を最大限に高めます。このアセットは、欠陥位置のキャプチャと補正を容易にするために、マスクアライメントプログラムを統合したキャピラリービジョンモデルを備えています。ダイナミックイメージングモードは、欠陥の分析に役立ち、3D画像処理を実行して欠陥フィーチャーを認識、分類、サイズ化することができます。また、ウェーハアライメントシステムには、ウェーハ識別、キャリブレーション、歪み補正のためのプログラムが統合されています。カスタムソフトウェアツールは、ユーザー定義のラベルとのパターンマッチングを可能にし、動的欠陥キャプチャ機能は、さまざまな設計レイヤーでキャプチャされたデータからウェーハのイメージを再構築するのに役立ちます。全体として、VISTEC INS 3000は、効率的な方法であらゆる生産要件を満たすことができるマスクおよびウェーハ検査用の直感的で強力なユニットです。この多面検査機は、統合されたソフトウェアパッケージ、高度なイメージングオプション、高度な光学特性評価により優れた結果を提供します。このツールは、欠陥解析機能を備えた自動および敏感な検査を使用して、均一で経済的な結果を提供します。