中古 LEICA / VISTEC INS 3000 DUV #9047675 を販売中
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販売された
ID: 9047675
Defect inspection system
Wafer-handling station two ports front load
Inspection and review application
Standard UV + High Performance DUV application
Automatic DIC Module
Pre-aligner for Macro-Inspection
KLARF input for Defect Review
ADR – Automatic defect review of KLARF files
Windows XP operating system
CCD Camera
Automatic high resolution inspections at 2.5X, 20X, 50X, 100X, and 150X (UV and DUV)
Unit offers bright-light macro inspection, dark-field, and DIC inspections
Operator console, track-ball, joy stick, motorized stage
Viscon application software
Defects from the KLARF (files from automatic inspection tool) can be reviewed in auto or manual mode.
LEICA/VISTEC INS 3000 DUVマスクおよびウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハ検査用に特別に設計された高性能光学顕微鏡システムです。重要なプロセス制御に必要な最高の感度と解像度を提供します。高速ステレオミクロスコープ、デジタルイメージプロセッサ、高度なソフトウェア機能を組み合わせ、光学的に複雑なマスクやウェーハ機能を高精度かつ高精度に検査できます。LEICA INS 3000 DUVは高速フルフレームレートの立体顕微鏡を備えており、高速で途切れのない観察で非常に詳細な3D画像を提供します。このマシンは、最適なコントラストと画像の鮮明さのための特許取得済みのコヒーレント光源を備えています。一貫性のないフォーカストラッキングツールは、検出器アレイのピクセルごとに最適化されたフォーカスを保証します。オートオプティマイザ機能により、顕微鏡のパラメータをリアルタイムで調整し、イメージング性能を最適化します。アセットには、デジタルイメージファイルを処理、保存、アーカイブするオンボードデジタルイメージプロセッサもあります。自動ゾーニング、関心のある領域、マルチレイヤー表示機能により、高速かつ強力な画像処理を提供します。このインターフェイスにより、すべての検査要件を満たすための柔軟性とカスタム分析が可能になります。このソフトウェアにより、オペレータはデータを迅速に分析し、詳細なプロファイルをモックアップし、画像をアーカイブすることができます。これらの機能に加えて、VISTEC INS 3000 DUVには、正確でリアルタイムの測定を可能にする3Dベクトル測定スイートがあります。また、3Dカラーマトリックスと2D測定オプションを提供し、任意の部品サイズまたは形状の分析を可能にします。この機能により、さまざまなアプリケーションで正確で再現性のある測定が可能になります。INS 3000 DUVは、最高レベルの性能と精度を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査モデルです。高い感度と解像度で、マスクやウェーハの最小欠陥を検出することができます。高精度でディテールの高い高速イメージングと高度な画像処理機能により、効率的なデータ分析を実現します。3Dベクトル測定スイートは、正確で繰り返し可能な測定を保証します。装置は産業および科学的な適用のプロセス制御にとって理想的です。
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