中古 LEICA / VISTEC INS 3000 DUV #9047301 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9047301
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Defect inspection system, 4" - 8"
(2) Open Cassette with tilt mechanism
Operator console with track ball joystick
OS Window NT4.1, Review S/W: VISCON NT 4.3
SONY CCD DXC990 camera & LCD monitor
Motorized X-Y stage
Contact-free pre-aligner
Objective:
2.5X/0.12 PL Fluotar
10X/0.50 BD HC PL Fluotar
50X/0.85 BD FL PL APO
100X/0.90 BD FL PL APO
150X/0.90 BD FL PL APO
Eyepieces: HC PLAN 10X (LEICA)
Motorized Beam splitter & DIC
LFS Auto Focusing
Confocal Image CFI, CF2
Dark Field & Bright Field
DUV function: not currently setup
2003 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3000 DUVは、最先端のウェーハレベルで欠陥を検出するように設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高解像度イメージセンサー、高度な光学系、高度な制御アルゴリズムを使用して、マスクまたはウェーハのエッジと表面をスキャンし、完全な欠陥のない品質を保証します。このユニットは、4ミクロンのピクセルサイズで、10nmのサイズの欠陥を検出することができます。機械の高度な光学系は、高解像度のイメージングを可能にし、マスクまたはウェーハの表面に存在する欠陥が検出され、識別されることを保証します。最大12メガピクセルの解像度で画像を生成し、検出が困難な不規則性を特定するのに役立つ正確な検査を行うことができます。また、最大視野は6。5mmで、幅広い検査領域を提供します。また、独自の制御アルゴリズムを備えており、検査プロセスを完全に自動化できます。これにより、インスペクターは、さまざまなパターンサイズ、形状、方向に合わせてモデルを素早く設定およびカスタマイズできます。これにより、マスクおよびウェーハ検査に関連する時間と面倒な作業を削減できます。このアルゴリズムにより、検査プロセスの正確な速度制御が可能になり、ユーザーは正確さを損なうことなくスループットを向上させることができます。同時に、装置に点検の完全性を保護する作り付けの安全特徴があります。例えば、消費電力を最小限に抑えるオートパワーオフ機能や、ユーザーの要件に応じて設定できるオートシャットダウンシステムを備えています。このユニットは、CE、 FCC、およびULの国際的な安全基準を満たすことが認証されているため、危険な環境での使用にも安全であるように設計されています。さらに、このマシンには使いやすいソフトウェアパッケージが付属しており、結果を詳細に表示できます。ユーザーは、パターンサイズ、検出アルゴリズム、速度設定などのさまざまなパラメータを含むため、ニーズに合わせてツールをカスタマイズできます。検査から得られたデータを簡単に一般的な画像形式にエクスポートすることができ、データのさらなる処理と分析が可能です。全体的に、LEICA INS 3000 DUVは、高精度を提供し、完全な欠陥のない品質を確保するのに役立つ高性能マスクおよびウェーハ検査資産です。その先進的な光学系と独自の制御アルゴリズムにより、検査プロセスの自動化と生産性の向上が可能になります。これらのすべての機能により、モデルはあらゆる検査または品質管理アプリケーションにとって信頼性が高く効率的なツールになります。
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