中古 LEICA / VISTEC INS 2000 #146201 を販売中

LEICA/VISITEC LEICA/VISTEC INS 2000は、先進的な光学系と画像処理を組み合わせ、正確で高速な自動検査を実現するマスクとウェハ検査装置です。このシステムは、フォトマスクやウェーハ表面のわずかな構造欠陥を正確に検出する速度、精度、信頼性を備えています。フォトマスクに0。5 µm、ウェーハに0。3 µmという小さな欠陥を検出できる高度な高解像度高倍率光学機器を採用しています。これは、LED光源、高い光学性能、蛍光検出、LED照明の組み合わせにより可能です。さらに、この機構には電動ビームステアリングユニットが装備されており、正確に定義された長方形または円形の領域をスキャンして欠陥検出を改善できます。このツールは、高解像度、高精度のデジタルイメージングでマスクまたはウェーハの表面全体を検査することができます。それは、画像の詳細における汚染と欠陥の両方を検出することができます。アセットは、初期取得から真で正しい位置を登録することにより、検査前にマスクまたはウェーハのずれを自動的に修正することもできます。このモデルは、高速自動欠陥レビュー（DR）機能も備えています。これにより、オペレータは検出された欠陥の画像をすばやく分析し、機器のデータベースの履歴画像と比較することができます。これは、ユーザーが迅速かつ正確に欠陥を識別するのに役立ち、将来的には修正と予防を容易にすることができます。さらに、システムには高度なデータ処理および分析機能が搭載されています。これには、特徴抽出とクラスタリングアルゴリズム、および画像の自動クラスタリングと分類が含まれます。ユニットの高度なレポート機能は、ユーザーがプロセスを評価するために使用できる包括的で詳細なレポートを生成できます。全体として、VISTEC/VISITEC LEICA INS 2000は強力で高効率なマスクおよびウェーハ検査機です。フォトマスクまたはウェーハ表面の最小欠陥を検出するための精度、速度、信頼性を提供します。高度なデジタルイメージングとデータ処理機能により、プロセスを迅速かつ正確に分析して対処し、製品品質を向上させることができます。