中古 LEICA / VISTEC DM5500B #9161873 を販売中

LEICA/VISTEC DM5500Bは、集積回路部品のパターンと設計を総合的に分析する高精度で包括的なマスクおよびウェハ検査装置です。LEICA DM5500Bは、薄い誘電膜、サブミクロンフィールド構造要素、フォトマスクなど、幅広いデバイスを正確に測定します。このシステムは、300mmまでの広範囲のウェーハサイズを多数の倍率でカバーしています。パワフルなコンピューター制御スキャンユニットを備えており、品質分析のための一貫した信頼性の高いデータを保証します。この機械の自動スキャン機能により、オペレータは、薄膜層、分離されたフィーチャー、およびアライメント登録パラメータのパターンジオメトリ、測定および欠陥を迅速に検査および分析できます。内蔵のレポート機能は、各スキャンを自動的にレポートし、電子的に共有することができます。VISTEC DM5500Bは、高度な測定および欠陥解析機能を提供し、マッチング、オーバーレイ、コンタクトホール形状、ライン/スペースジオメトリなどのパラメータ傾向を定量的かつ定量的に分析できます。完全な特性評価とデータ相関のために、ツールの配列とウェーハマッピングオプションは、潜在的な欠陥の座標を完全に自信を持って示します。これらの結果は、他のテストデータと一緒にすぐに監視および分析することができます。さらに、プレキャラクタライズされたウェーハテンプレートで配置精度を確認することができ、ファイルからアセットに素早くロードし、セグメント化されたウェーハ上でスキャンすることができます。DM5500Bは、高解像度のデジタルオプティクスと回折イメージング技術によりウェーハを検査し、露出パターンの完全性を保護しながら、焦点深度と高画質を向上させます。OPC （Optical Proximity Correction）を疑似ステッパーまたはミラーステッパーのいずれかのプラットフォームで読み取り、書き込みを行うことで、OPCプロセスの詳細な有効性チェックが可能になります。この機器には、スタートアップスクリーナーや統合レポートマネージャなど、生産性向上の機能が組み込まれています。これらの機能は、ユーザーの特定の要件に合わせて調整できるため、システムを最適なパフォーマンスに設定できます。スタートアップスクリーナーは、クイックマスクの品質管理、レポートの自動生成に使用できます。オプションの高度な欠陥クラスタリング機能により「、特殊な」欠陥のさらなる特性評価が可能になり、自動欠陥分類ツールは品質管理プロセスの改善に役立ちます。さらに、LEICA/VISTEC DM5500Bはリモート検査/分析機能をサポートしており、経験豊富なオペレータがユニットに直接アクセスして実行し、多くのユーザーにデータと分析をレビューできます。これにより、ユーザーは必要なプロセスや新興トレンドをすばやく特定でき、生産歩留まりを継続的に改善できます。堅牢で使いやすいソフトウェアと相まって、LEICA DM5500Bは強力で包括的なマスクおよびウェーハ検査機です。このツールは、自信を持って包括的なパス/フェイルテストに必要な精度と精度をユーザーに提供します。