中古 LEICA / VISTEC 3300 #9237527 を販売中

LEICA/VISTEC 3300は、半導体製造業界の先進的なマスク&ウエハ検査装置です。LEICAとVISTECの間で開発され、ウェーハおよびマスクアライメント工程における欠陥の迅速かつ費用対効果の高い検出のために特別に設計されたLEICA 3300は、これまでにないレベルの精度と自動化を提供します。このシステムは、最先端のデジタルカメラ、多軸ステージ、高精度ガイドアームなど、いくつかのコンポーネントで構成されており、すべてが協力してウェーハやマスク表面の完全なカバレッジを提供します。このデジタルカメラは、特許取得済みのフィルターアレイ技術を使用しており、高解像度イメージングと異なる波長の光を組み合わせて、最小の欠陥を検出します。さらに、社内で開発されたポイント検出アルゴリズムは、ウェーハまたはマスク上の欠陥を検索し、迅速な欠陥評価のための途切れないスキャンを提供します。ステージはリニアベアリングレールを使用して構築されており、さまざまなビューでウェーハまたはマスクを自動的に配置するために完全にプログラム可能です。また、精密な検査のための信じられないほどの繰り返し精度を提供します。ガイドアームは、高度な設計の特許出願中のメカニズムであり、最適なスキャン条件のためのマスクまたはウェーハの正確なアライメントと取り扱いを提供します。アームはまた、正確な速度とモーションコントロールのための電気サーボモーターを持っています。これらのコンポーネントに加えて、このユニットには画像処理と欠陥解析のための強力なソフトウェアも含まれています。自動アライメント、3Dイメージスタッキング、カラーコーディング、オートキャリブレーション、パターンマッチング、直感的なプロセスコントロールマシンなど、いくつかの機能が含まれています。すべての機能はウェーハおよびマスクの点検プロセスの最高性能を提供するように設計されています。VISTEC 3300ツールは、コストを削減しながら、効率と精度を高めるために探している任意の半導体生産操作のための完璧な選択肢です。その高度な設計と機能により、正確で信頼性の高い検査が保証され、歩留まりの向上と高品質の結果が得られます。