中古 LEICA INS 3000 #9148695 を販売中

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ID: 9148695
ウェーハサイズ: 8"
Wafer defect inspection system, 8" Open cassette 150x / 0.95 APO 100x / 0.90 APO 50x / 0.85 APO 10x / 0.30 HCPL 5x / 0.12 PL 5x / 0.90 PL.
LEICA INS 3000は、ウェーハとレチクルの両方の製造のために設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。高度なイメージング技術と積極的な数学アルゴリズムを使用して、ウェーハやレチクルの微妙な欠陥を検出します。このシステムには、高感度の広域カラーイメージングユニットと特許取得済みの高周波アルゴリズムが組み込まれており、ウェーハとレチクルの両方に小さな粒子の外観を検出します。このイメージングマシンは、ウェーハ表面のすべてのピクセルで、高品質の色、広域画像をキャプチャします。ツールが振幅と位相欠陥を検出することを可能にする洗練されたダークフィールド光学系を使用することにより、ウェーハ上に存在する可能性のあるあらゆる汚染物質がより明白にレンダリングされます。このイメージング資産には、特許出願中のアクティブ測定構造もあり、正確なピクセル登録を可能にし、画像が歪みやぼやけから解放されることを保証します。この機能を通じて、モデルは、それがキャプチャ画像が最高の解像度と明瞭さであることを保証します。LEICA INS-3000は効率と精度のために設計されています。それは顧客の特定の必要性に点検をカスタマイズする複数の自動化された点検周期を特色にします。これにより、ウェーハ検査とレチクル検査の両方において、再現性と正確な結果が保証されます。また、Advanced Process Control (APC)機能を搭載しているため、検出された欠陥を高精度かつ高精度に診断および修正することができます。INS 3000にはウェーハエッジ制御技術も組み込まれています。この機能により、ウェハの周囲が問題のレチクルパターンと正しく正確に整列されていることが保証されます。さらに、このユニットはデュアルステッププロセス制御で設計されています。これにより、わずかな異常が検出され、かつてないほどの速度と精度で分離されます。このマシンは、操作と継続的なサポートを容易にするための熟練した直感的なユーザーインターフェイスを備えています。一連の直感的な機能と機能により、オペレータは検査タスクを正確かつ効果的に管理し、データを分析してリアルタイムで進捗状況を監視することができます。このツールには、問題が発生した場合のトラブルシューティング情報を提供するための診断機能も内蔵されています。要するに、INS-3000はウェーハおよびレチクルの製造のために設計された強力なマスクおよびウェーハの点検資産です。業界をリードする精度で微妙な欠陥を正確に検出し、分離することができます。このモデルは、自動検査サイクル、APC機能、ウェーハエッジ制御技術、デュアルステッププロセス制御などの優れた機能を提供します。また、使いやすさと柔軟性、トラブルシューティングと診断機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスも提供しています。
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