中古 LEICA INS 3000 #293813191 を販売中

ID: 293813191
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2001
Inspection microscope, 6"-8" 2001 vintage.
LEICA INS 3000は、マスクとウェーハの両方の検査アプリケーションに高度なイメージングと測定機能を提供するように設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、マスクとウェーハの高速スキャンとアライメントに最適化された、ユニークな光学ベンチデシンで構成されています。このユニットには、スループットとプロセスの再現性と再現性を最大化するように設計された高解像度ウェーハ検査モジュールも含まれています。このマシンは、ウェーハおよびマスク欠陥の迅速かつ信頼性の高い処理を提供するように設計されています。ウェーハとマスクの同期の両方を自動制御し、最短時間で最も正確な結果を保証します。高性能イメージングツールには、誤検出を特定して排除する高度なアルゴリズムが含まれ、関連する欠陥検出結果を簡単に確認できるリストが作成されています。アセットには、光モードと暗視モードの両方で、可能な限り最高の画質を提供するハイエンド光学エンジンが装備されています。高性能オプティクスモデルには、マスクとウェーハに正確に焦点を合わせるための自動アライメントと結晶コンディショニングが含まれています。また、この装置は高度な自動調整機能を提供するように設計されており、異なるマスクや基板の自動ライトレベル校正が可能です。また、定義済みの画像処理アルゴリズムのライブラリも用意されており、特定のウェーハおよびマスク検査アクティビティに簡単にカスタマイズできます。このユニットには直感的なGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)も含まれており、技術者は画像システムに安全かつワークフロー指向の方法でアクセスし制御することができます。GUIにより、オペレータは機械の検査および測定作業を迅速かつ効率的に開始できます。高性能イメージングツールに加えて、LEICA INS-3000は包括的な感覚パッケージを備えています。温度センサモジュール、ノイズセンサモジュール、共軸振動モジュールが含まれます。このアセットには多機能キャリブレーションステージも含まれており、光学モデルの自動キャリブレーションを可能にし、最高の精度を実現します。INS 3000は光学および装置レベルの性能の独特な組合せを、すべて単一のパッケージで提供します。これにより、現在市販されている最先端のウェーハおよびマスク検査システムの1つになります。
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