中古 LASERTEC M8351 #9228093 を販売中

LASERTEC M8351
ID: 9228093
Blank inspection system Resist pattern.
LASERTEC M8351は、重要なフォトマスクおよびレチクル基板の物理的欠陥を検出するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、140nm(ナノメートル)までのサイズの欠陥をイメージングおよび分析することができ、製品の品質と歩留まりを向上させるための幅広い画像解析および欠陥特性評価機能を提供します。LASERTEC M 8351は、高性能レーザーエラースキャン技術(ELT)を使用したサブミクロン分解能と高速検査時間を提供し、高速画像キャプチャおよび欠陥解析のための高度な焦点技術を提供します。ELTを使用すると、このユニットは、光学視野(FOV)よりもはるかに大きい基板の欠陥、パターンのずれ、色の変化をすばやく識別できます。ダークフィールドイメージング、低角度スキャン、ハイダイナミックレンジイメージングなど、さまざまなイメージングモードを提供します。検査精度と効率を最大限に高めるために、各分野のさまざまな欠陥を分析することができます。M8351はまた、操作モードと画像キャプチャの設定をすばやく調整できる直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスを利用しています。また、ツールに画像を簡単にアップロードまたはダウンロードして、さらなる分析とレポートを作成することもできます。M 8351はオートメーションツールを内蔵した自動化されたアセットで、サンプルのセットアップと自動露出制御によるシンプルな操作を可能にします。また、DPAST、 PROFILER、 OVI、 NDT、 OESなどのさまざまなソフトウェアパッケージもサポートしています。LASERTEC M8351は、包括的で自動化された手動の画像解析とマスク解析診断を提供します。このモデルはまた、リアルタイムの欠陥解析と統計表示をユーザーに提供します。これにより、機器の欠陥検出機能を活用して、プロセス階層の複数のレベル間の障害を関連付け、分析、特定できます。LASERTEC M 8351には直感的で人間工学に基づいた設計が施されており、迅速かつ簡単な操作が可能です。プロフェッショナルで高精度なレンズシステムと光学ナビゲーターを提供し、優れた画像解像度を提供します。また、さまざまな高解像度カメラに対応しており、イメージングアプリケーション向けに設計された幅広い画像フォーマットと解像度を提供しています。結論として、M8351は高度でスケーラブルで人間工学に基づいたマスクおよびウェーハ検査機であり、正確で堅牢なイメージングおよび分析機能を提供します。このツールは、140ナノメートルまでのサイズの重要なフォトマスクとレチクル基板の欠陥を検出して識別するために特別に設計されています。この資産の特徴は、精度と精度が要求される産業用および商業用アプリケーションに最適です。
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