中古 LASERTEC 2PG10 #9267070 を販売中
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ID: 9267070
Pellicle inspection machine
Automatic transportation & mounting of photomask production process
Auto loader
(3) Components included.
LASERTEC 2PG10は、ウェーハおよびレチクルの製造における欠陥を検査するマスクおよびウェーハ検査装置です。2PG10はマスクおよびウェーハの点検を速く、正確な方法で行うように設計されています。この検査システムは、高性能レーザーと高度なイメージング技術を使用しており、ウェーハやマスクの表面に存在する可能性のある欠陥を検出することができます。LASERTEC 2PG10の高度なイメージング技術は、光学およびレーザースキャンを使用して欠陥を検出し、1ミクロン以下の精度を提供します。高出力レーザーにより、各障害地の詳細な画像をキャプチャすることができます。また、このイメージング技術は、マスクおよびウェーハ上のさまざまな機能を探索して欠陥を検出するためのスケーラブルな解像度を提供します。2PG10はまた、マスクとウェーハが迅速かつ正確に検査されるように自動化されたパス/フェイルマシンを提供しています。自動パス/フェイルツールは、欠陥を含む可能性のある領域にフラグを立て、自動的に信号を送信してさらなる検査を行います。この段階では、アセットはバックライトを使用して、ウェーハまたはマスクに低コストまたは隠れた欠陥をさらすのに役立ちます。LASERTEC 2PG10には、マスクやウェーハの表面全体を堅牢に検査するためのAI機能も内蔵されています。機械は、ボイド、亀裂、傷、ストリーキング、変色などの表面の不完全さを検出できます。次に、AIは欠陥を分類し、適切な欠陥タイプを割り当てます。2PG10はまた、モデルの効率的な操作と監視を可能にする洗練されたユーザーインターフェイスを持っています。ユーザーは、検査プロセスの進捗状況を追跡しながら、アプリケーションの要件を正確に満たすために検査パラメータを設定し、必要に応じて変更することができます。ユーザーインターフェイスはまた、将来の参照のために検査活動の継続的なログを保持する機能を提供します。LASERTEC 2PG10は、半導体、MEMSなどのフォトマスク用途の製造・開発におけるウェーハやレチクルの検査に最適なツールです。高精度な検出と高速かつ高精度な動作により、高性能な半導体製造に最適な装置です。
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