中古 KURODA System #293665542 を販売中
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黒田装置は、半導体メーカーがリソグラフィに使用するマスクとウェーハ自体の両方の欠陥を識別するために設計されたマスクおよびウェーハ検査システムです。この黒田ユニットは、マスクインスペクターとウェハインスペクターの2つの大型モジュールで構成されています。マスクインスペクターは、リソグラフィ工程で使用する前にフォトマスクのパターン欠陥を検査する高精度の顕微鏡です。光回折、表面プロファイル、画像変調などの高度なイメージング技術を使用して、障害をチェックします。このマシンは、生産後まで見過ごされる微細なパターンの欠陥を検出することができます。ウェーハインスペクターは、ウェーハの平面表面を不規則に検査します。高解像度の光学イメージングと高精度の基準測定を使用して、製造工程で発生する可能性のある欠陥を検出します。ウェーハインスペクターは、取得した画像と参照測定値を比較することで、問題があるかどうかを正確に判断することができます。クロダツールには、マスクやウェハ検査のあらゆる側面をカバーする総合的な機能セットなど、さまざまな利点があります。また、高精度で信頼性が高く、直感的なユーザーインターフェースにより、経験の浅いオペレータでも簡単に使用できます。さらに、アセットは高度にカスタマイズ可能であり、あらゆる半導体メーカーの生産ニーズに合わせて調整することができます。黒田モデルのコストパフォーマンスは、多くの半導体メーカーに最適です。特徴、正確さ、信頼性、ユーザーフレンドリーおよび手頃な価格の組合せはそれを品質保証および欠陥の同一証明のための大きい解決にします。幅広い機能と競争力のある価格設定により、機器はさまざまなマスクおよびウェーハ検査タスクに最適です。
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