中古 KOTOBUKI BKM-002K-04 #9127450 を販売中

KOTOBUKI BKM-002K-04は、自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体産業における大規模生産事業および研究開発用途に適しています。このシステムは、マスクパターンを自動的に検査し、1つのプロセスでウェーハ上の正しい配置を確認することができます。このユニットは、高解像度スキャンステージ、検査カメラ、画像取得機、およびオンボード画像解析スイートで構成されています。このツールは、高精度のスキャンステージを使用して、マスクとウェーハを正確に整列させて検査します。スキャンステージは、±1µmの再現性と±3µmの位置決め精度を備えています。検査カメラは、16メガピクセルの解像度を持つ可視イメージングレンズを使用しています。ウェーハ上のマスクパターンの客観的な画像を極めて高速に撮影し、マスクパターンの迅速かつ正確な評価を可能にします。画像取得資産は、画像データを迅速かつ正確に収集および分析する責任があります。広い視野にわたってマスクパターンの単一および複数のフィールド画像を取得できます。画像取得ハードウェアは、オンボードイメージ処理アルゴリズムを備えており、マスクとウェーハを正確に分析します。オンボード画像解析スイートは、検査カメラからの画像のリアルタイム分析と比較を可能にします。このスイートには、欠陥検出、フィーチャー認識、パターンマッチングなどの機能が含まれています。マスクとウエハの両方の欠陥を高精度で再現性のある検出・報告が可能です。このモデルはまた、マスクパターンと欠陥測定の統計的評価と報告も提供します。BKM-002K-04は、ますます高まる半導体産業のニーズに応えるために設計された強力で信頼性の高い検査装置です。高精度のスキャンステージ、強力なイメージング、高度な画像解析アルゴリズムにより、品質検査と生産効率に最適です。