中古 KOSAKA LAB RSP300-11 #293637186 を販売中

KOSAKA LAB RSP300-11は、フォトリソグラフィのパターン形成プロセスの欠陥や設計データのレイアウトを検出するためのマスク&ウェハ検査装置です。FEOL（フロントエンド・オブ・ライン）、BEOL（バックエンド・オブ・ライン）、WLP（ウェハレベル・パッケージング）など、幅広いプロセスの検査ソリューションを提供しています。このシステムは、フォトリソグラフィ投影ユニット、電源、ビデオカメラ、コンピュータの4つの主要コンポーネントで構成されています。フォトリソグラフィック投影機は、マルチビームレーザーと可動X-Y-Zステージで構成されています。リソグラフィックレチクルをウェーハに投影し、ウェーハ表面に形成されたレジストレイヤーパターンを検査するために使用されます。電源はレーザーおよび段階制御に電源を供給します。ビデオカメラは、ウェーハの画像を撮影する高解像度デジタルカメラです。コンピュータツールは、資産によって生成されたデータを制御および分析するために使用されます。RSP300-11は高度なアルゴリズムを使用して、ウェーハ上に形成されたパターンを検査および分析します。目視検査では検出できないプロセス関連の欠陥を検出することができます。また、フォトマスクのミスアライメントと線幅のステップダウンエラーに関連するパターンのずれによるグロス欠陥も検出できます。このモデルは、シャワーファイル、チョーファイル、レーザースキャン、セクタなどのさまざまな検査オプションで簡単に設定でき、よりターゲットを絞った欠陥を検出できます。この機器には、欠陥要約、欠陥領域マッピング、繰り返し故障解析、統計欠陥解析などの自動ツール機能も含まれています。KOSAKA LAB RSP300-11は、以前のデータを保存し、顧客の仕様との結果比較と比較に使用することができます。このシステムはまた、パターンのバックグラウンドノイズによる誤った相対信号をその強度を制御することで除去できる機能を提供します。要するに、RSP300-11はパターン欠陥を検出し、ユーザーの労力を最小限に抑えて顧客仕様と比較する高度な機能を提供する高性能マスク&ウェーハ検査ユニットです。高度なアルゴリズム、複数のコンフィギュレーションオプション、自動ツール機能により、プロセス関連の欠陥を迅速かつ効率的に検出し、プロセスウィンドウの安定性と製品歩留まりを向上させることができます。