中古 KOKUSAI VR-120A #9148334 を販売中

KOKUSAI VR-120Aは、高度な単層または多層マスクおよびウェーハパターン構造の製造用に設計された包括的なマルチセンサーマスクおよびウェーハ検査装置です。その高度なビジョン技術と高度な照明システムは、比類のない解像度と検査カバレッジを提供します。システムには、高解像度のLEDデジタルカメラユニット、高速スキャン狭赤外線ビームセンサー、完全自動欠陥検査機が含まれています。カメラツールは、CCD（充電結合デバイス）イメージセンサーを使用し、最大8。5 μ mピクセルの解像度を提供します。毎秒200フィールドまでの画像キャプチャを提供します。狭い赤外線ビームセンサーはサブミクロン分解能を提供し、毎秒最大500万パターンを検査できます。これには、信頼性の高い欠陥検査のためのin-situフォーカス制御資産が含まれています。このモデルは、包括的なパターン検出と欠陥検出機能を提供します。パターン認識機能には、パターンの測定、線幅、層の厚さ、表面積、ステップの高さと角度、CD（クリティカルな寸法）および発光検査が含まれます。欠陥検出機能には、気孔面積、レジスト残留物、ブリッジサンプル、傷、汚染物質、結晶欠陥、チップエッチングおよびフォトレジストの開発が含まれます。この装置は、10cm x 10cmの視野を持つマスクまたはウェーハ全体を検査することができます。統合されたステージガントリーシステムと自動化されたステージシフトユニットを備えており、大型マスクやウェハエリアを迅速かつ正確に検査できます。機械は手動、半自動および完全に自動化された操作を支え、ほぼリアルタイムの結果を提供します。このツールは、過酷な生産環境での信頼性の高い操作のために設計されています。強力なCPUモジュール、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス、ネットワークポートとオプションのメモリ拡張、および安全な動作を保証するための複数のユーザー認証アセットが装備されています。さらに、オプションの継ぎ目の検査技術とマスクイメージライブラリにより、正確な欠陥の再訪を可能にします。VR-120Aマスクおよびウェーハ検査モデルは、生産環境において信頼性の高い正確な検査結果を提供します。包括的な欠陥検出およびパターン認識機能により、高度なマスクおよびウェーハ製造プロセスに最適です。