中古 KOBELCO / LEO EPM #293642530 を販売中

KOBELCO/LEO EPMは、半導体製造工場で使用される最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、製造のあらゆる段階でマスクとウェーハの完全性を検証するエンドツーエンドの検査ソリューションを提供し、欠陥による歩留まり損失を低減します。このユニットは、高解像度イメージング、フォトマスク評価、自動検査を使用して、形状および欠陥の迅速かつ正確な測定を実現します。これにより、デバイス間ウェーハのバリエーションを迅速に識別することができ、生産プロセスの迅速な適応と製品品質の向上を可能にします。また、フォトマスクの露出時やウェハエッチング時にも欠陥を検出することができます。このツールには、高度なレーザーや荷電粒子イメージングなど、さまざまな革新的な技術が組み込まれています。従来の光学顕微鏡に比べ、フォトマスクやウェーハ検査の精度と解像度を100倍に向上させました。また、荷電粒子イメージング装置は、欠陥の特定と検出に優れた精度を提供し、より早期かつ費用対効果の高い検出を可能にします。LEO EPMは、フォトマスクやウェーハの高解像度画像を作成するための自動イメージングシステムも備えています。このユニットは、保存されたデータと画像を比較するために画像処理を実行し、高速で信頼性の高い結果を提供します。また、さまざまな種類のグラフィカルデータやレポートを出力することもできます。全体的に、マスクとウェーハの検査に包括的かつ効果的なアプローチを提供するように設計されており、製品の欠陥による歩留まりの損失を減らすことができます。このツールの高解像度イメージングおよび自動化されたプロセスにより、迅速かつ正確な検査が可能になり、製造プロセスをタイムリーに調整できます。KOBELCO EPMにより、製造メーカーは半導体製造事業に伴うリスクを低減し、お客様により良い品質の製品を提供することができます。