中古 KLEO LDI CM 20 #9246262 を販売中

KLEO LDI CM 20は、リソグラフィで使用されるパターンに不適合なマークを識別し、歩留まり損失を引き起こす可能性がある高度なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、デジタルイメージングサブシステム、光回折サブシステム、およびデータ管理サブシステムで構成されています。デジタルイメージングサブシステムは、充電結合デバイス（CCD）を使用して、高感度でダイナミックレンジのサンプル表面をスキャンします。画像は、洗練されたソフトウェアを使用してキャプチャされ、分析されます。ソフトウェアに欠陥、ディスクおよび穀物を検出し、識別し、そして測定する機能があります。また、明るい光源と安定した出力を内蔵し、スキャン面の暗い領域と明るい領域のコントラストを最適化します。この光回折サブシステムは、表面特性を評価するための回折光スキャンの複数の角度を提供します。光源は、さまざまな表面構成と発生角度を測定するために移動可能です。このサブシステムから取得したデータは、歩留まり損失につながる可能性のある不適合要素の範囲を特定するために分析されます。データ管理サブシステムを使用すると、ユーザーはデジタルイメージングおよび光回折サブシステムからスキャン結果にアクセスできます。スキャンパラメータのリアルタイム監視や調整などの機能により、ユーザーはあらゆるサンプルで品質を確保できます。収集されたすべてのデータは、効率的なリコールと分析のためにデータベースに保存および整理されます。全体的に、LDI CM 20マスクおよびウェハ検査機は、リソグラフィーパターンの迅速かつ正確で信頼性の高い評価を提供することができます。高度に自動化されたツールを使用すると、歩留まり損失要素を迅速かつコスト効率的に見つけて削減でき、コンプライアンスと全体的な品質を確保できます。