中古 KLA / TENCOR WI-2280 #9382888 を販売中

KLA / TENCOR WI-2280
ID: 9382888
Wafer inspection systems, 6".
KLA/TENCOR WI-2280マスクおよびウェーハ検査装置は、非導電試験基板に完全な結合および静的検査ソリューションを提供する包括的な機械です。これは、導電粒子、ショート、開口部、基板欠陥などの欠陥を識別するために、ユニークな光学システムを使用しています。KLA WI-2280はまた、さまざまな角度と倍率からの高解像度画像を提供しています。TENCOR WI-2280は、試験基板全体の検査を行う高度な光学ユニットを採用しており、あらゆる角度と倍率から高コントラスト画像を生成します。イメージング光学系は、試験基板の鮮明で鮮明な画像をフルカラーで捉え、倍率範囲は最大1000xです。また、光学系では、試験基板の上面と2次面の両方のイメージングが可能であり、マシンは0.35µm幅までの欠陥を識別することができます。WI-2280は、欠陥解析の速度と精度を向上させるために設計された自動画像キャプチャおよび処理ツールも備えています。1秒間に最大1,500枚の画像処理が可能で、測定精度を向上させ、試験時間を短縮することができます。さらに、自動画像解析ソフトウェアを使用すると、画像解析の感度をカスタマイズし、欠陥の有無とピクセル領域をすばやく特定できます。KLA/TENCOR WI-2280には、自動欠陥ソート資産も組み込まれており、検出された欠陥を自動的にランク付けしてクイックパス/フェイル結果を取得します。これにより、サンプルがテストに合格したかどうか、またはさらなる分析が必要かどうかを迅速に判断できます。さらに、このモデルは、統合されたOCAPソフトウェアと柔軟なマッチング機能を提供し、ユーザーは特定の要件に応じてマッチングパラメータを調整することができます。全体として、KLA WI-2280は、非導電試験基板に完全な結合および静的検査ソリューションを提供する包括的な機械です。強力な光学機器、自動画像キャプチャおよび処理システム、および自律欠陥ソートユニットを使用して、幅広い欠陥を迅速かつ正確に識別および分類0.35µmます。OCAPソフトウェアの柔軟なマッチング機能により、機械の精度と速度がさらに向上し、パス/フェイル検査と詳細解析の両方を効率的に実行できます。
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