中古 KLA / TENCOR VisEdge CV300 #293594998 を販売中

KLA / TENCOR VisEdge CV300
ID: 293594998
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Wafer edge inspection system, 12" 2007 vintage.
KLA/TENCOR VisEdge CV300は、半導体の製造に使用されるウェーハやリソグラフィーマスクの小さな欠陥や異常を正確に検出するために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、強力なデジタルイメージングセンサー、光学フィルター、レンズで構成され、ウェーハとマスクの表面の画像を一緒にキャプチャして評価します。イメージングユニットは、従来の拡大欠陥検査と比較してより正確な結果を得ることができる広視野画像を得るために設置されています。VisEdgeには、高度なソフトウェアプログラムとアルゴリズムが組み合わされており、欠陥を迅速、正確、かつ繰り返し検出できます。KLA VisEdge CV300は、暗いフィールドと明るいフィールド検査の両方に対応する交換可能な照明オプションも備えているため、幅広い用途に適しています。このマシンには欠陥の選択と再検査機能が含まれており、ウェーハやマスクを再画像する必要なく、疑わしい欠陥を繰り返し検査することができます。さらに、標準的なウェーハサイズのオプションにより、異なるウェーハサイズを素早く切り替えることができ、ワークの特性にかかわらず、同じ高精度を維持することができます。VisEdgeは、最先端のイメージングアセット、精密な光学系、高度な照明オプションにより、優れた画質を提供します。これにより、VisEdgeはウェーハまたはマスクの表面に一貫して確実に欠陥を特定できます。このモデルはまた、さまざまな標準および独自の検出モードを提供しており、微妙なインクルージョンを検出し、他の検査システムで検出されない異常に抵抗することができます。TENCOR VISEDGE CV 300は人間工学に基づいて設計されており、オペレータの疲労や気晴らしを軽減し、高度な自動化機能を利用することができます。直感的なユーザーインターフェイスとソフトウェア機能により、機器のメンテナンスと操作がさらに簡単になります。調整可能なステージも備えており、複数の位置とピッチ角度を検査して精度を高めます。全体的に、TENCOR VisEdge CV300は、迅速で正確かつ再現性のある欠陥検出を提供する効果的なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。高度なイメージング機能、自動機能、ユーザーフレンドリーな設計により、あらゆる半導体製造設備に不可欠なツールです。
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