中古 KLA / TENCOR Theta stage assemblies for 2139 #293650349 を販売中

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ID: 293650349
Part number: 0219671-000.
KLA/TENCOR 2139用シータステージアセンブリは、検査プロセスの光学品質と再現性を向上させるように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、レンズ、カメラ、照明器具など、さまざまなハイエンド光学部品を備えた自動ステージアセンブリを使用しています。毎秒30フレームの高速画像キャプチャを実現し、品質検査・解析が可能です。この先進的なマシンは、最高品質のイメージングを提供し、欠陥検出の最高精度を提供します。シータステージアセンブリは、高効率の照明とレンズを使用して、分析のための明確な画像を取得します。このツールの3軸モーションは、複数のマスクとウェーハを測定および検査するための非常に繰り返し可能なモーションのパターンを提供します。Theta 2139には、資産パフォーマンスと精度を向上させる高度な機能が含まれています。オプションのMPI (Multiple Patterned Illumination)モデルを使用すると、画像キャプチャを特定のパターンに合わせて調整でき、潜在的な欠陥をさらに検出できます。さらに、検査対象物の迅速かつ正確な位置決めを可能にする自動ウェーハアライメント機能を搭載しています。単位の光学はイメージ投射の良質を保障する先端技術を利用します。TIR (Total Internal Reflectance)モードで設計されており、多様な反射性を有する高品質のイメージングを提供します。また、より繊細な欠陥の検出を可能にするブライトフィールドモードを使用しています。Theta 2139ツールは、データ収集とレポート機能、アセットをアプリケーションに合わせるためのソフトウェアツールの完全なスイートなど、さまざまな機能とオプションを備えて設計されています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、モデルの操作とセットアップがさらに簡素化され、ユーザーはすばやく起動して実行できます。Theta 2139は、高度で複雑なマスクおよびウェーハ検査装置です。これまでにない検査機能と再現性、自動化されたウェーハハンドリングとアライメント、マルチパターンイルミネーション、高品質なイメージングのための高効率光学を提供します。幅広い機能とオプションを備えたTheta 2139は、効果的な欠陥検出と解析のための最高品質の出力を提供します。
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