中古 KLA / TENCOR Teron 610 #9378999 を販売中

KLA/TENCOR Teron 610は、高度なフォトマスクパターンとウェーハの精密欠陥検出および解析を提供するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。独自のアーキテクチャを使用して、公差、プロセスパラメータ、ジオメトリに依存しない高感度のエッジおよびパターン欠陥検出を実現します。このシステムは、高度な光学系とシンチレーション放射線源を利用しており、0。35ミクロンの画像解像度に高感度を提供しています。フィールドアライニング、高速スキャン、シェーディング補正など、さまざまなイメージングモードにより、プロセスの均一性が向上し、さまざまなタイプのマスクやウェーハでパターンの忠実性が向上します。さらに、KLA Teron 610は、欠陥プロファイルの最適化とウェハパターン認識に独自のレーザースキャン技術を使用しています。TENCOR Teron 610は、少なくとも0のフォトマスクとウェハノートを検査します。250ミクロンのピッチ。ウェーハあたりの最大面積検査は直径12インチ、マスクの最大使用可能面積は28インチです。自動化されたマスクとウエハハンドリングマシンにより、ユニットのスループットを最適化します。また、Teron 610は、プロフェッショナルCADツール、ステージ検査、3次元画像解析、欠陥レビューアルゴリズムの豊富なスイートと、ピン、ブリッジ、その他の微妙な欠陥を検出するための幾何学的検査アルゴリズムを提供します。KLA/TENCOR Teron 610のユーザーインターフェースは直感的に設計されており、簡単なセットアップ、効率的な操作、バッチ処理が可能です。インタラクティブなユーザーインターフェイスは、欠陥レビュー、統計計算、レポート、検査結果の比較などの洗練された機能も提供します。このツールには、自動レビューおよびパターン認識モジュールも付属しており、1つのウエハから次のウエハーへの定期的な欠陥の識別を支援します。データセキュリティを強化するために、KLA Teron 610はオプションのネットワークインターフェイスを備えており、オペレータは資産の操作をリモートで制御できます。このモデルは、多数のサードパーティ製ウェハハンドリングシステムにも対応しています。フォトマスクパターンやウェーハの検出・解析を必要とするあらゆる環境において、費用対効果が高く信頼性の高い検査装置です。