中古 KLA / TENCOR Teron 610 #9291368 を販売中

KLA/TENCOR Teron 610は、フォトマスクとウェーハの高度な検査とレビューのための厳しい業界要件を満たすように設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、2つの高解像度ASML 5500イメージングおよびプロジェクションシステム、および明るいフィールドイメージングモジュールを使用して、マスクまたはウェーハの高解像度画像をキャプチャし、高精度解析のために基板にイメージングを投影します。KLA Teron 610の自動光検査（AOI）機能により、ラインブレイク、幅バリエーション、欠損形状などの欠陥を40nmまで検出できます。画像データはFTPサーバーに直接保存することができ、レポートの転送が容易になり、ユニットのデータを他の品質保証システムと統合することができます。TENCOR Teron 610には自動欠陥レビュー（ADR）機能も搭載されており、ユーザーは欠陥を迅速に分類、マーク、保存できます。また、バックサイドパターンシフトの欠陥を検出することができ、基板の裏側にある不適合パターンを識別することができます。このツールには2つのビデオ顕微鏡ステーションがあり、特定のパターンを詳細に分析するために最大8枚の画像をキャプチャできます。このアセットは高度なパターン認識も提供しており、他のシステムが欠落する微妙な欠陥を検出することができます。高解像度イメージングを利用して、かつては自動光学検査システムや欠陥検査システムの解像度を超えていた微細なディテールをキャプチャします。最後に、Teron 610は動的欠陥フィルタを使用して、ユーザーは特定のタイプの欠陥に検査の努力を集中することができます。全体として、これらの機能の組み合わせにより、KLA/TENCOR Teron 610は強力で高度なマスクおよびウェーハ検査モデルとなります。高解像度イメージングおよび自動検査機能により、40nmの欠陥を検出でき、高度なパターン認識および欠陥フィルタ機能により、最も要求の厳しいフォトマスクやウェーハの精度を確保するための理想的な機器となります。