中古 KLA / TENCOR Terascan SL516-T5 #9276280 を販売中

KLA/TENCOR Terascan SL516-T5は、高精度で信頼性の高い検査結果を提供する次世代のマスクおよびウェーハ検査装置です。ウェーハおよびマスクリソグラフィープロセスの整合性を評価するために使用できます。このシステムには、0。17ミクロンの分解能と0。80の低い数値開口（NA）値を備えた、迅速かつ正確なアライメントを提供するように設計されたレンズが装備されています。自動化されたアライメントメカニズムにより、レンズとステージが完全に整列し、ウェーハまたはマスクの非常に正確な概要を提供します。精度を高める必要があるユーザーには、オプションで1。2までの高いNAが利用可能です。KLA Terascan SL516-T5は、最新の計測技術を統合して、迅速な検査速度を実現します。スキャン速度は、従来のシステムよりも最大60X速く、全体的なスループットを大幅に高速化します。このユニットには、手動、半自動、または完全に自動化された検査機能が選択できます。自動化された技術により、キャリブレーションとセットアップが容易になり、一度に最大2つのウェーハを自動スキャンできます。手作業による検査では、細かい特定の検査を行うことができます。これは珍しい欠陥を見つけるのに特に役立ちます。全体として、TENCOR Terascan SL516-T5は、さまざまなリソグラフィープロセスに適した包括的で費用対効果の高いウェーハおよびマスク検査機を提供します。迅速かつ正確なアライメントメカニズムと自動化された機能により、迅速かつ正確な検査が可能になり、迅速で信頼性の高い検査ツールをお探しのあらゆるレベルのユーザーに最適です。