中古 KLA / TENCOR TeraScan 586 #9025479 を販売中

KLA/TENCOR TeraScan 586は、汚染物質、微粒子、結晶格子欠陥などの異常を迅速に検出および特徴付けるために設計された自動マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、優れた空間分解能と感度を提供し、他のツールよりも優れたリスク評価と欠陥特性評価を可能にします。KLA TeraScan 586は、3D地形イメージングを容易にする高解像度センサで、オペレータは標準的な走査型電子顕微鏡や光学顕微鏡よりも最大1000x高い感度で小さな欠陥を検出することができます。高解像度センサは、簡単に分析して定量化できる欠陥画像を生成します。TENCOR TeraScan 586は、ウェーハの寸法、平坦度、高さをリアルタイムで正確に測定することができる、ウェーハエッジ検出器へのダイを搭載しています。この装置は、表面（epi）およびサブサーフェス（SPM/AFM）の欠陥を検出および特性評価する独自の能力により、完全なウェーハカバレッジを保証します。このユニットには直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスが付属しており、オペレータはウェーハの前面と背面の両方、またはマスクをすばやく検査することができます。TeraScan 586のQuickMap機能は、広範囲なプロセス特性評価を迅速に実行し、広い視野でパターンの忠実性を検証し、1000x倍率範囲を迅速に評価します。さらに、このマシンには、データを分析および表示するためのグラフィカルツールを備えたAFMモジュールが含まれています。この機能により、オペレータは、絶縁ピット、傷、ナノ粒子などの表面欠陥をより簡単に識別および特徴付けることができます。さらに、KLA/TENCOR TeraScan 586は、熱機械的応力またはプロセス変動による境界のずれと収差を自動的に検出します。KLA TeraScan 586は、アプリケーションに関係なく正確な測定を保証するために、調整可能な環境条件と最先端の光学系を備えています。さらに、ソフトウェア駆動のオートフォーカス・ステージが付属しており、検査中に検出された不規則性に耳を傾けて応答するため、品質管理が向上し、スループットが向上します。このツールは、業界をリードする精度で迅速かつ高解像度の測定と検査を提供し、市場投入までの時間とコスト削減を迅速に実現します。優れた計測装置により、TENCOR TeraScan 586は、マスクとウェーハの両方に適した幅広い欠陥を検出できる正確で信頼性の高い検査資産です。