中古 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9396622 を販売中

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ID: 9396622
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Inspection system, 12" Non-functional parts: Load port 2: 24 V System board IMC / Narrow side: Mirror Hard Disk Drive (HDD) Board 2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3は、半導体および非半導体基板の欠陥を検出および測定するために設計されたマスクおよびウェハ検査システムです。KLA Surfscan SP3は、高度な画像取得と分析を組み合わせて、あらゆるタイプのサンプルを1つのアクションで最大4つの検査することができ、顧客が迅速かつ正確な欠陥データを得ることができます。デバイスの中核は光学サブシステムであり、精密な平面イメージング用の超高解像度カラーCCDと、より選択的なスキャン用の5倍の高解像度グレースケールCCDという2つの洗練されたカメラが含まれています。統合された照明は、一貫した結果を得るための自然な照明を提供し、自動および手動の画像操作オプションの範囲は、ユーザーが必要に応じて画像設定をすばやく調整することができます。TENCOR Surfscan SP3には、顕微鏡検査などの光に敏感なサンプルのための低バックグラウンドシステム、および視野内のサンプルの自動画像キャプチャおよび位置のための視野ファインダーも装備されています。自動化されたサンプル形態の操作は、イメージングと検査のための包括的なツールとして、デバイスの機能を抽出します。データ側では、Surfscan SP3は強力なソフトウェアエンジンを使用して複雑な画像解析オプションを提供します。測定データを集計して複数のフレームワークに分類したり、アルゴリズムを使用して特定の粒子の特徴を検索したり、ナノメートルレベルで個々の欠陥を特定したりすることができます。さらに、ソフトウェアは、さらなるレビューと分析のために、ローカルまたはリモートで画像をアーカイブするために使用することができます。KLA/TENCOR Surfscan SP3の汎用性により、最も信頼性の高いツールの1つであり、幅広いマスクおよびウェーハ基板上の欠陥の検出、測定、分析に最適です。精度、精度、ユーザビリティを提供し、半導体業界における欠陥検出のリーディングチョイスとなります。
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