中古 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9364671 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP3は、半導体回路の自動検査用に設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度な光学計測、欠陥認識、欠陥分類機能を自動化されたマスクおよびウェーハ検査ワークフローに組み込んでいます。光学的欠陥レビュープロセスは、レーザー顕微鏡、レーザー散乱計、化学エッチングなどのいくつかのイメージング技術と高度な自動アルゴリズム技術を組み合わせて、欠陥を正確に識別し、適切に分類します。このユニットは大容量で、1時間あたり最大40,000個のウェーハダイを検査することができます。このマシンはまた、画像レビューと分類機能の包括的な範囲を提供します。これらの機能により、ユーザーは欠陥の高解像度画像をレビューし、サイズ、形状、位置などの特性に基づいて分類することができ、オペレータは欠陥をすばやく特定して対処方法を決定することができます。統合された欠陥分類エンジンも含まれており、オペレータは欠陥クラスを自動的に割り当てることができます。このツールは、高性能FPGAプラットフォーム上に構築されており、いくつかの異なる業界標準の欠陥データベースと互換性があります。これは、ユーザーが自分の特定のニーズに検査プロセスをカスタマイズすることができます高度な機能の広い範囲を持っています。この資産は、誤報を減らし、正確な結果をタイムリーに提供するように設計されています。安全性の観点から、KLA Surfscan SP3モデルは、欧州連合のRoHSおよびWEEE指令を含む最新の安全規制を満たすように設計されています。この機器は、適用される安全規制に準拠するために認定されており、7年間の製品保証に裏付けられています。全体として、TENCOR Surfscan SP3は、光学計測、欠陥認識、欠陥分類機能を自動化された高性能プラットフォームで組み合わせた高度なマスクおよびウェハ検査システムです。その包括的な機能の範囲で、ユニットは、迅速かつ正確に欠陥を識別し、最も効率的な修理と回避プロセスのためにそれらを分類するために使用することができます。