中古 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293650551 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP3は、自動マスクおよびウェーハ検査装置です。低コストとハイパフォーマンスオプションの両方で、急速に拡張可能な本番機能を提供します。KLA Surfscan SP3は、高度な欠陥レビューから包括的なデータ管理まで、マスクおよびウェーハ検査のあらゆる側面を合理化するように設計されています。このシステムは多種多様な機能を備えており、半導体製造設備の信頼性と一貫した検査が可能です。TENCOR Surfscan SP3は、さまざまな光学系を通じて高度なイメージング技術を提供し、粒子、欠陥、その他の細部を非常に小さなサイズまで検出することができます。このマシンには、ユーザーが特定のアプリケーションの要求に合わせてツールを調整できる、繰り返し可能でカスタマイズ可能な光学モジュールの配列も含まれています。このアセットでは、自動画像解析アルゴリズムを使用して精度を最大化し、検査プロセスからの人間の偏りや誤差を排除します。これにより、一貫性のある公平な結果が保証され、手動レビューの必要性が最小限に抑えられます。高度な光学系に加えて、Surfscan SP3はデータ管理、プロセス制御、サンプル管理のためのいくつかのモジュールも備えています。モデルのData Acquisitionモジュールを使用すると、自動レビューと分析のためのライブラリデータの整理と検索、および詳細なカメラの校正とレビューが可能になります。Coordinates Databaseモジュールは、レイアウトと作業現場の情報を追跡することで、ウェーハ全体を正確に測定します。最後に、KLA/TENCOR Surfscan SP3のSample Managementモジュールを使用すると、複数のユーザーと複数のデバイス間でデータを簡単に追跡および管理できます。また、検査結果において可能な限り最高の精度と信頼性を確保するために、いくつかの高度なアルゴリズムを備えています。たとえば、Mask GeometryとEdge Detectionアルゴリズムを使用すると、複数の画像間の変化を検出できます。サブレイアウト検証アルゴリズムは、チップ上のアライメントと位置決めで潜在的な問題を検出するユニークな機能です。LEDフィーチャー検出アルゴリズムは、通常の検査方法では検出が困難な重要な欠陥の発見をさらに支援することができます。KLA Surfscan SP3は半導体製造設定における品質管理に欠かせないツールです。高精度なイメージング、自動化されたデータ管理、強力なアルゴリズムにより、このシステムは半導体製造の急速な環境のために設計されています。これは、品質管理と検査能力の向上を目指しているあらゆる半導体生産施設にとって理想的な選択肢です。